[实用新型]一种用于银饰品表面处理的原子层沉积装置外壳

说明书

本实用新型提供了一种用于银饰品表面处理的原子层沉积装置外壳，包括外筒，连接在外筒下端的底盖，连接在底盖下端的底座，以及盖设在外筒上端的上盖，所述外筒内设置有内筒，内筒的上端盖设有筒盖，内筒的内底壁上设置有沉槽，且沉槽上盖设有匀气盘，沉槽的下端贯通连接有支撑管，支撑管连接在底盖上，且收集管穿过底盖并与支撑管贯通连接。本实用新型克服了现有技术的不足，设计合理，结构紧凑，通过采用一系列的结构设计，能够对多余的前驱体源废气进行收集，防止在内筒中堆积，采用内外筒的结构设计，能够提高很好的保温效果，同时也能提高密封效果。

技术领域

本实用新型涉及金属表面处理设备技术领域，具体涉及一种用于银饰品表面处理的原子层沉积装置外壳。

背景技术

银饰品是一种以金属银打造的饰品，质地光滑，富有色泽。但银饰品在保存中容易氧化导致变色甚至发黑。而用电镀、无机钝化膜、有机钝化膜等常规处理方法会破坏银饰品的色泽，也存在污染问题。原子层沉积是一种可以实现将物质以单原子膜形式一层一层的镀在基底表面的方法。

传统的原子层沉积设备前驱体源气流不均匀，影响对产品的沉积效果，而且一般不具备前驱体源废气收集的系统，另外保密及保温的措施也不够理想，使得在整个产品的沉积过程造成资源浪费。

为此，我们提出一种用于银饰品表面处理的原子层沉积装置外壳。

实用新型内容

本实用新型的目的在于解决或者至少缓解现有技术中存在的问题。

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：

一种用于银饰品表面处理的原子层沉积装置外壳，包括外筒，连接在外筒下端的底盖，连接在底盖下端的底座，以及盖设在外筒上端的上盖，所述外筒内设置有内筒，内筒的上端盖设有筒盖，内筒的内底壁上设置有沉槽，且沉槽上盖设有匀气盘，沉槽的下端贯通连接有支撑管，支撑管连接在底盖上，且收集管穿过底盖并与支撑管贯通连接。

可选地，所述筒盖卡合在内筒的内壁上，且筒盖和内筒之间还设有密封圈。

可选地，所述收集管和支撑管之间套设有密封膜。

可选地，所述上盖的上端设置有加热顶座。

可选地，所述底座上设置有多个升降装置，且多个升降装置的上端均连接在上盖上。

可选地，所述外筒和内筒之间还设置有加热管，且加热管呈蛇形分布。

本实用新型实施例提供了一种用于银饰品表面处理的原子层沉积装置外壳。具备以下有益效果：

本发明提供一种银饰品表面处理的原子层沉积装置：

通过采用一系列的结构设计，使得前驱体源气流能够更加均匀的流动，提高了沉积效果，同时能够对多余的前驱体源废气进行收集，防止堆积，采用内外筒的结构设计，能够提高很好的保温效果，同时也能提高密封效果。

附图说明

图1为本实用新型立体结构示意图；

图2为本实用新型结构剖视示意图。

图中：外筒1、底座2、升降装置3、上盖4、加热顶座5、内筒6、筒盖6.1、匀气盘6.2、支撑管7、收集管8、底盖9、加热管10。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。