[实用新型]用于ITO管状靶材清洗防碰撞装置有效
| 申请号： | 202121823484.1 | 申请日： | 2021-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN216137777U | 公开（公告）日： | 2022-03-29 |
| 发明（设计）人： | 柯尚文;周传水;李隽;余永强 | 申请（专利权）人： | 广东凯盛光伏技术研究院有限公司;中建材蚌埠玻璃工业设计研究院有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B13/00 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 蔡旭晟 |
| 地址： | 528137 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 ito 管状 清洗 碰撞 装置 | ||
1.一种用于ITO管状靶材清洗防碰撞装置，其特征在于，包括吊篮箱(100)、防碰架(200)，所述吊篮箱(100)的底板上均匀分布列有进水孔(110)；所述防碰架(200)装入所述吊篮箱(100)内，所述防碰架(200)内均匀分布有固定管腔(210)，所述固定管腔(210)纵向贯穿过所述防碰架(200)，所述固定管腔(210)的内径大于管状靶材外径。
2.根据权利要求1所述的一种用于ITO管状靶材清洗防碰撞装置，其特征在于，还包括硅胶垫片(300)，所述硅胶垫片(300)平铺于所述吊篮箱(100)的底板上，所述硅胶垫片(300)上均匀分布列有圆孔(310)，所述圆孔(310)与所述进水孔(110)位置配合。
3.根据权利要求2所述的一种用于ITO管状靶材清洗防碰撞装置，其特征在于，所述圆孔(310)的孔径与所述进水孔(110)的孔径相同。
4.根据权利要求1所述的一种用于ITO管状靶材清洗防碰撞装置，其特征在于，还包括硅胶管(400)，所述硅胶管(400)装入所述固定管腔(210)内，且所述硅胶管(400)的外管壁贴于所述固定管腔(210)的内管壁。
5.根据权利要求1所述的一种用于ITO管状靶材清洗防碰撞装置，其特征在于，所述吊篮箱(100)两侧装有吊耳(120)，所述吊篮箱(100)的底部装有支脚块(130)。
6.根据权利要求1或5所述的一种用于ITO管状靶材清洗防碰撞装置，其特征在于，所述吊篮箱(100)的材质为不锈钢。
7.根据权利要求1所述的一种用于ITO管状靶材清洗防碰撞装置，其特征在于，所述防碰架(200)的材质为PVC，所述防碰架(200)的体积小于所述吊篮的体积。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广东凯盛光伏技术研究院有限公司;中建材蚌埠玻璃工业设计研究院有限公司，未经广东凯盛光伏技术研究院有限公司;中建材蚌埠玻璃工业设计研究院有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202121823484.1/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种带多功能灯座的北斗七星灯
- 下一篇：腹腔镜手术用导向直刺带装置
