[实用新型]用于ITO管状靶材清洗防碰撞装置

说明书

本实用新型公开了一种用于ITO管状靶材清洗防碰撞装置，包括吊篮箱、防碰架，吊篮箱的底板上均匀分布列有进水孔；防碰架装入吊篮箱内，防碰架内均匀分布有固定管腔，固定管腔纵向贯穿过防碰架，固定管腔两端开口于防碰架的上顶面和下底面；固定管腔的内径大于管状靶材外径；使用时，将防碰架放入吊篮箱内，将待清洗ITO管状靶材插入防碰架的固定管腔中，用电动葫芦起重机将吊篮起吊转移进超声波清洗池中进行清洗；完成超声清洗后，靶材没有发生碰撞而崩角或开裂现象，靶材表面洁净。

技术领域

本实用新型涉及ITO管状靶材清洗技术领域，特别涉及一种具用于ITO管状靶材清洗防碰撞装置。

背景技术

在ITO管状靶材生产过程中，经过磨床和电火花线切割加工成产品规格的ITO管状靶材表面沾附上ITO的粉屑与磨床、线切割设备上的机油，必须彻底清洗上述ITO粉屑和机油并烘干；ITO管状靶材属于陶瓷类产品，具有脆性，在超声清洗过程中，批量的ITO管状靶材同时浸没在清洗介质中，靶材之间由于超声波的振动，相互碰撞则极其容易靶发生崩角或开裂而成为残次品，需要对上述技术问题进行改进。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出一种用于ITO管状靶材清洗防碰撞装置，包括吊篮箱、防碰架，所述吊篮箱的底板上均匀分布列有进水孔；所述防碰架装入所述吊篮箱内，所述防碰架内均匀分布有固定管腔，所述固定管腔纵向贯穿过所述防碰架，所述固定管腔的内径大于管状靶材外径。

根据本实用新型的一些实施例，还包括硅胶垫片，所述硅胶垫片平铺于所述吊篮箱的底板上，所述硅胶垫片上均匀分布列有圆孔，所述圆孔与所述进水孔位置配合。

根据本实用新型的一些实施例，所述圆孔的孔径与所述进水孔的孔径相同。

根据本实用新型的一些实施例，还包括硅胶管，所述硅胶管装入所述固定管腔内，且所述硅胶管的外管壁贴于所述固定管腔的内管壁。

根据本实用新型的一些实施例，所述吊篮箱两侧装有吊耳，所述吊篮箱的底部装有支脚块。

根据本实用新型的一些实施例，所述吊篮箱的材质为不锈钢。

根据本实用新型的一些实施例，所述防碰架的材质为PVC，所述防碰架的体积小于所述吊篮的体积。

本实用新型至少具有如下有益效果：

使用时，将防碰架放入吊篮箱内，将待清洗ITO管状靶材插入防碰架的固定管腔中，用电动葫芦起重机将吊篮起吊转移进超声波清洗池中进行清洗；完成超声清洗后，靶材没有发生碰撞而崩角或开裂现象，靶材表面洁净。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1为本实用新型实施例的整体示意图；

图2为本实用新型实施例的吊篮箱示意图；

图3为本实用新型实施例的防碰架示意图；

图4为本实用新型实施例的硅胶垫片示意图。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。