[实用新型]一种晶圆抛光检测工装

权利要求书

1.一种晶圆抛光检测工装，包括防护壳体（1），其特征在于：所述防护壳体（1）的一端设有封闭结构（2），所述防护壳体（1）内部的一端固定连接有连接架（6），且连接架（6）的顶端固定连接有固定结构（3），所述防护壳体（1）内部的底端固定连接有移动结构（4），所述移动结构（4）的顶端固定连接有打磨结构（5）。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆抛光检测工装，其特征在于：所述封闭结构（2）包括观察窗（203），所述观察窗（203）一端的底端设有拉环，所述观察窗（203）底端的两侧固定连接有固定卡扣（204），且固定卡扣（204）的底端设有固定卡槽（205），所述固定卡槽（205）和防护壳体（1）之间固定连接，所述固定卡槽（205）和固定卡扣（204）之间呈卡合关系。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆抛光检测工装，其特征在于：所述观察窗（203）顶端的两侧固定连接有弹性元件（201），所述观察窗（203）的顶端铰接有活动杆（202），且活动杆（202）的顶端设有滑槽，滑槽和防护壳体（1）之间固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆抛光检测工装，其特征在于：所述固定结构（3）包括固定框架（301），所述固定框架（301）内部的一侧固定连接有旋转电机（302），且旋转电机（302）的底端固定连接有传动丝杆（303），所述传动丝杆（303）的一侧设有传动齿轮（304），所述传动齿轮（304）的底端固定连接有活动夹板（305），且活动夹板（305）和传动丝杆（303）之间呈传动关系，所述活动夹板（305）一侧的底端通过弹性金属环固定有防护板，所述活动夹板（305）和传动齿轮（304）均设有两组对称分布，两组活动夹板（305）沿相对方向翻转。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆抛光检测工装，其特征在于：所述移动结构（4）包括伺服电机（401），所述伺服电机（401）的一侧固定连接有传动螺纹杆（402），且传动螺纹杆（402）的一侧设有移动滑块（403），所述移动滑块（403）和传动螺纹杆（402）之间呈螺纹传动关系，所述移动滑块（403）的底端固定连接有限位滑块（404），且限位滑块（404）的两侧贯穿有限位丝杆（405），所述限位滑块（404）和限位丝杆（405）呈滑动关系。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆抛光检测工装，其特征在于：所述打磨结构（5）包括传动电机（504），所述传动电机（504）的顶端固定连接有第一传动齿盘（502），且第一传动齿盘（502）的顶端固定连接有打磨面板（501），所述第一传动齿盘（502）的一侧设有第二传动齿盘（503），所述第一传动齿盘（502）和第二传动齿盘（503）的一端均设有齿盘，且齿盘相对分布，齿盘之间呈传动关系，所述第一传动齿盘（502）和第二传动齿盘（503）的顶端均设有打磨面板（501）。