[实用新型]一种晶圆抛光检测工装

说明书

本实用新型公开了一种晶圆抛光检测工装，包括防护壳体，所述防护壳体的一端设有封闭结构，所述防护壳体内部的一端固定连接有连接架，且连接架的顶端固定连接有固定结构，所述防护壳体内部的底端固定连接有移动结构，所述移动结构的顶端固定连接有打磨结构。本实用新型通过封闭结构便于避免安全隐患，且可以实时的观察打磨过程；抛光的过程，是通过较精细的打磨头打磨晶圆片的表面，使得晶圆片的表面光滑有光泽，打磨的过程高速摩擦会产生火花，火花会产生安全隐患，封闭结构的作用是挡住四溅的火花，封闭结构的工作原理是通过拉动观察窗底部的拉环，使得固定卡扣和固定卡槽卡合固定，弹性元件的作用是自动把观察窗向上拉起。

技术领域

本实用新型涉及晶圆片技术领域，具体为一种晶圆抛光检测工装。

背景技术

晶圆抛光检测工装是一种使用在芯片加工中的装置，抛光是芯片加工中靠后的一项处理步骤，使用时，但是现有的一种晶圆抛光检测工装存在很多问题或缺陷：

第一，传统的一种晶圆抛光检测工装，抛光的过程，是通过较精细的打磨头打磨晶圆片的表面，使得晶圆片的表面光滑有光泽，打磨的过程高速摩擦会产生火花，火花会产生安全隐患；

第二，传统的一种晶圆抛光检测工装，不便于固定晶圆片，传统的装置固定效果不好，打磨的过程中易偏移，且夹持的方式易用力过猛损坏晶圆片，晶圆片是片状的外形，较脆弱；

第三，传统的一种晶圆抛光检测工装，不便于自动移动打磨头，不够灵活，且打磨头打磨的不均匀。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆抛光检测工装，以解决上述背景技术中提出的抛光的火花会产生安全隐患、不便于固定晶圆片和不便于自动移动打磨头的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆抛光检测工装，包括防护壳体，所述防护壳体的一端设有封闭结构，所述防护壳体内部的一端固定连接有连接架，且连接架的顶端固定连接有固定结构，所述防护壳体内部的底端固定连接有移动结构，所述移动结构的顶端固定连接有打磨结构。

优选的，所述封闭结构包括观察窗，所述观察窗一端的底端设有拉环，所述观察窗底端的两侧固定连接有固定卡扣，且固定卡扣的底端设有固定卡槽，所述固定卡槽和防护壳体之间固定连接，所述固定卡槽和固定卡扣之间呈卡合关系。

优选的，所述观察窗顶端的两侧固定连接有弹性元件，所述观察窗的顶端铰接有活动杆，且活动杆的顶端设有滑槽，滑槽和防护壳体之间固定连接。

优选的，所述固定结构包括固定框架，所述固定框架内部的一侧固定连接有旋转电机，且旋转电机的底端固定连接有传动丝杆，所述传动丝杆的一侧设有传动齿轮，所述传动齿轮的底端固定连接有活动夹板，且活动夹板和传动丝杆之间呈传动关系，所述活动夹板一侧的底端通过弹性金属环固定有防护板，所述活动夹板和传动齿轮均设有两组对称分布，两组活动夹板沿相对方向翻转。

优选的，所述移动结构包括伺服电机，所述伺服电机的一侧固定连接有传动螺纹杆，且传动螺纹杆的一侧设有移动滑块，所述移动滑块和传动螺纹杆之间呈螺纹传动关系，所述移动滑块的底端固定连接有限位滑块，且限位滑块的两侧贯穿有限位丝杆，所述限位滑块和限位丝杆呈滑动关系。

优选的，所述打磨结构包括传动电机，所述传动电机的顶端固定连接有第一传动齿盘，且第一传动齿盘的顶端固定连接有打磨面板，所述第一传动齿盘的一侧设有第二传动齿盘，所述第一传动齿盘和第二传动齿盘的一端均设有齿盘，且齿盘相对分布，齿盘之间呈传动关系，所述第一传动齿盘和第二传动齿盘的顶端均设有打磨面板。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该晶圆抛光检测工装不仅实现了避免抛光的火花产生安全隐患，实现了便于固定晶圆片，而且实现了便于自动移动打磨头：