[实用新型]一种晶圆片腐蚀清洗机构

权利要求书

1.一种晶圆片腐蚀清洗机构，包括防护壳体（4），其特征在于：所述防护壳体（4）的顶端设有混合结构（1），且混合结构（1）的底端设有导料管（2），所述混合结构（1）和防护壳体（4）之间通过导料管（2）固定连接，所述防护壳体（4）内部的顶端设有撒药结构（3），所述防护壳体（4）内部的两侧设有抽气结构（6），所述防护壳体（4）内部的底端固定连接有固定结构（5）。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆片腐蚀清洗机构，其特征在于：所述固定结构（5）包括固定底座（502），所述固定底座（502）底端的两侧固定连接有弹性金属丝（503），且弹性金属丝（503）和防护壳体（4）之间固定连接，所述固定底座（502）顶端的两侧设有固定卡板（501），且固定卡板（501）的一侧和防护壳体（4）内部一侧的底端铰接连接，所述固定卡板（501）的底端的中部和防护壳体（4）之间通过弹性金属环固定连接，所述固定卡板（501）的另一侧固定连接有压板。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆片腐蚀清洗机构，其特征在于：所述撒药结构（3）包括伺服电机（301），所述伺服电机（301）和防护壳体（4）之间固定连接，所述伺服电机（301）的底端固定连接有第一传动齿轮（302），且第一传动齿轮（302）的两侧设有第二传动齿轮（303），所述第二传动齿轮（303）关于第一传动齿轮（302）的轴心呈环形分布，所述第二传动齿轮（303）和第一传动齿轮（302）之间通过啮齿传动，所述第一传动齿轮（302）的底端套接有传动齿轮环（304），所述传动齿轮环（304）的内侧设有和第二传动齿轮（303）相互配合的内啮齿，所述传动齿轮环（304）和第二传动齿轮（303）之间呈啮齿传动。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆片腐蚀清洗机构，其特征在于：所述第一传动齿轮（302）和第二传动齿轮（303）的底端均固定连接有导料块，所述第一传动齿轮（302）的底端设有固定网板（305），且固定网板（305）的两侧固定连接有固定卡块（306），所述固定网板（305）和防护壳体（4）之间通过固定卡块（306）固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆片腐蚀清洗机构，其特征在于：所述混合结构（1）包括旋转电机（101），所述旋转电机（101）的一侧固定连接有连接杆（102），且连接杆（102）的内部设有连接滚球（103），所述连接滚球（103）的两侧固定连接有弹性元件（104），所述连接滚球（103）和连接杆（102）之间通过弹性元件（104）固定连接，所述连接滚球（103）的顶端和底端固定连接有搅拌扇叶（105）。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆片腐蚀清洗机构，其特征在于：所述抽气结构（6）包括抽气泵（603），所述抽气泵（603）的一侧固定连接有传动风扇（601），所述抽气泵（603）的底端设有储气仓（602），且储气仓（602）和防护壳体（4）之间固定连接。