[实用新型]化学气相沉积设备水平调节装置

权利要求书

1.化学气相沉积设备水平调节装置，其结构包括安装在主机架上的电机(11)，电机(11)输出端通过联轴器(12)连接丝杆(3)，丝杆(3)上设丝杆螺母(2)，丝杆螺母(2)连接滑块(5)，滑块(5)与主机架上的滑轨(4)滑动连接，滑块(5)尾部连接加热座(7)，滑块(5)顶部通过支撑柱(6)连接加热盘支撑板(1)，加热盘支撑板(1)通过两根对称设置且穿过加热盘支撑板(1)的螺纹杆(8)连接加热腔体底板(10)；其特征是所述的螺纹杆(8)顶端与加热腔体底板(10)连接处以及加热盘支撑板(1)底面处分别设六角螺母(9)，螺纹杆(8)上六角螺母(9)之间套设有弹簧(13)，加热腔体底板(10)向下设有一对刻度棒(14)，刻度棒(14)位置对应螺纹杆(8)位置，加热盘支撑板(1)端面上配合两根刻度棒(14)设有辅助线(15)。