[实用新型]MEMS麦克风及其背极板

权利要求书

1.一种MEMS麦克风背极板，其特征在于，所述背极板包括：

支撑背板，包括第一部分及第二部分，所述第一部分与所述第二部分一体连接，所述第二部分用于支撑所述第一部分，所述第一部分中间区域设置有中部区，所述中部区分为开孔区及非开孔区，所述开孔区设置有若干贯穿所述支撑背板的进声孔，所述非开孔区未设置所述进声孔；所述非开孔区的边缘外侧设置有凹槽，所述凹槽贯穿所述支撑背板；

背极，位于所述支撑背板的下表面，且与所述支撑背板对应设置所述进声孔；

电极，设置在所述凹槽表面以及所述支撑背板上表面的部分区域，用于传输所述背极中的电信号；

背极板焊盘，设置在所述支撑背板的上表面，并与所述电极连接。

2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风背极板，其特征在于：所述中部区的形状选自圆形、圆角矩形、正多边形中的一种。

3.根据权利要求1所述的MEMS麦克风背极板，其特征在于：所述非开孔区的形状选自扇形、圆角梯形、平行四边形中的一种。

4.根据权利要求1所述的MEMS麦克风背极板，其特征在于：所述非开孔区面积占所述中部区面积的比值范围为5％-15％。

5.根据权利要求1所述的MEMS麦克风背极板，其特征在于：所述中部区面积占所述支撑背板上表面面积的比值范围为70％-90％。

6.根据权利要求1所述的MEMS麦克风背极板，其特征在于：若干所述进声孔相互等间隔排列，相互间隔距离的数值范围为5μm-20μm。

7.根据权利要求1所述的MEMS麦克风背极板，其特征在于：所述进声孔的形状选自圆形、椭圆形、多边形中的一种。

8.根据权利要求7所述的MEMS麦克风背极板，其特征在于：所述进声孔的形状为圆形，所述进声孔孔径范围为5μm-30μm。

9.根据权利要求1所述的MEMS麦克风背极板，其特征在于：所述背极中与所述凹槽底部的电极接触的区域为导电区域，所述导电区域与所述非开孔区接触于所述非开孔区外边缘的中间。

10.一种MEMS麦克风，其特征在于，所述MEMS麦克风包括：

基底，形成支撑结构，并设有开口；

振膜，跨设于所述基底的开口上；

上述权利要求1-9中任意一项所述的MEMS麦克风背极板，位于所述基底及所述振膜上方，且与所述振膜之间存在预设间隔。