[实用新型]一种晶体生长测温装置及晶体生长装置有效
| 申请号： | 202121840363.8 | 申请日： | 2021-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN215338598U | 公开（公告）日： | 2021-12-28 |
| 发明（设计）人： | 齐红基;王晓亮;陈端阳 | 申请（专利权）人： | 杭州富加镓业科技有限公司 |
| 主分类号： | G01J5/00 | 分类号： | G01J5/00;C30B28/04;C30B35/00 |
| 代理公司： | 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268 | 代理人： | 温宏梅 |
| 地址： | 311400 浙江省杭州市富*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 晶体生长 测温 装置 | ||
1.一种晶体生长测温装置，其特征在于，包括：
壳体，所述壳体上设置有第一通孔；
保温罩，所述保温罩位于所述壳体内，所述保温罩设置有第二通孔；
坩埚，所述坩埚位于所述保温罩内；
其中，所述第一通孔处设置有红外测温器，所述红外测温器的感温头朝向所述坩埚，所述第一通孔和所述第二通孔均位于所述坩埚和所述感温头之间。
2.根据权利要求1所述的晶体生长测温装置，其特征在于，所述坩埚内设置有模具，所述感温头朝向所述模具的上表面。
3.根据权利要求1所述的晶体生长测温装置，其特征在于，所述坩埚外设置有加热装置。
4.根据权利要求3所述的晶体生长测温装置，其特征在于，所述加热装置为感应线圈。
5.根据权利要求1所述的晶体生长测温装置，其特征在于，所述第一通孔有两个，所述红外测温器有两个。
6.根据权利要求5所述的晶体生长测温装置，其特征在于，所述第二通孔为长条形通孔，两个所述第一通孔的中心轴线均穿过所述长条形通孔。
7.根据权利要求5所述的晶体生长测温装置，其特征在于，所述壳体上设置有第三通孔，所述第三通孔内设置有籽晶杆；两个所述第一通孔分别位于所述第三通孔的两侧，所述籽晶杆可插入到所述第二通孔中。
8.根据权利要求1所述的晶体生长测温装置，其特征在于，所述第一通孔内设置有管体，所述管体向背离坩埚的方向延伸；
所述管体上设置有安装座；
所述安装座上设置所述红外测温器。
9.根据权利要求1所述的晶体生长测温装置，其特征在于，
所述坩埚为铱坩埚或铱合金坩埚。
10.一种晶体生长装置，其特征在于，包括：
如权利要求1至9中任一项所述的晶体生长测温装置。
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