[实用新型]一种硅片抓取整理装置

权利要求书

1.一种硅片抓取整理装置，其特征在于，包括：

硅片整理装置（A），所述硅片整理装置（A）包括硅片夹持机构（1）、片夹输送载台（2）、托举机构（3）、放硅片机架（4），所述硅片夹持机构（1）滑动安装于硅片夹持底座（5）上，所述托举机构（3）滑动安装于放硅片机架（4）上且驱动硅片夹持底座（5）上下移动；所述片夹输送载台（2）驱动硅片夹持机构（1）水平方向移动；

取硅片装置（B），所述取硅片装置（B）包括控制柜（6）和机器人夹具（7），所述机器人夹具（7）通过控制柜（6）控制；

周转箱移载装置（C），所述周转箱移载装置（C）包括移载台机架（8）、转角机构（9）、移载台（10）和周转箱（11），所述转角机构（9）滑动安装于移载台机架（8）上，所述移载台（10）安装于转角机构（9）上方，所述周转箱（11）放置于移载台（10）上方。

2.根据权利要求1所述的硅片抓取整理装置，其特征在于：所述硅片夹持机构（1）包括基板（101）、第一步进马达（102）、第二步进马达（103）、第一气缸（104）、第二气缸（105），所述第一步进马达（102）通过第一梯形丝杆（106）连接勾板推块（107），所述第一梯形丝杆（106）通过第一梯形丝杆支座（108）安装于勾拉底板（109）上，所述第一步进马达（102）通过勾拉马达板（110）安装于勾拉底板（109）上，所述勾拉底板（109）安装于第一直线导轨（111）上，所述勾拉底板（109）两侧连接有立板（112）；所述第一直线导轨（111）安装于勾块（113）上，所述勾块（113）一端与勾板推块（107）相连，另一端通过勾板块（114）连接有勾板（115），所述勾板推块（107）的一侧安装有第一光电感应片（116）；所述第二步进马达（103）驱动第二梯形丝杆（117），所述第二梯形丝杆（117）通过夹持第一滑轨块（118）安装于第二直线导轨（119）上，所述第二直线导轨（119）上滑动安装有侧夹紧板（122），所述夹持第一滑轨块（118）的一侧安装有第二光电感应片（120），两相邻的所述夹持第一滑轨块（118）之间安装有防尘布；所述第一气缸（104）和第二气缸（105）均与后侧推板相连；所述基板（101）的一侧安装有传感器（121）。

3.根据权利要求1所述的硅片抓取整理装置，其特征在于：所述片夹输送载台（2）包括步进电机（201）、第三气缸（202）、旋转气缸（203）和立柱式片夹（204），所述步进电机（201）通过同步带（205）安装于片夹输送驱动轴（206）上，所述片夹输送驱动轴（206）两端与输送同步带（207）相连，所述立柱式片夹（204）安装于输送同步带（207）上，所述立柱式片夹（204）的外侧安装有第三气缸（202）和阻挡条（208），所述立柱式片夹（204）的一端通过缓冲器安装有定位板（209）；所述旋转气缸（203）安装于输送同步带（207）的尾部。

4.根据权利要求1所述的硅片抓取整理装置，其特征在于：所述托举机构（3）包括伺服电机（301）、电缸（302）、托举拖链（303）、第一滑轨（304）、第一无杆气缸（305），所述伺服电机（301）穿过电缸底板安装，两所述电缸（302）安装于电缸底板上且顶端连接有托举顶块（306），所述第一滑轨（304）安装于放片机台板（307）上，两所述电缸（302）滑动安装于第一滑轨（304）上，所述放片机台板（307）上安装有第一无杆气缸（305），所述托举拖链（303）安装于放片机台板（307）底部，所述放片机台板（307）通过载台立柱（308）安装有载台定位板（309），所述载台定位板（309）上安装有接近开关（310），所述第一滑轨（304）运动方向的两端也安装有接近开关（310）。

5.根据权利要求1所述的硅片抓取整理装置，其特征在于：所述放硅片机架（4）包括机架台面（401）、第三直线导轨（402）、机架拖链（403）和机架气缸（404），两所述第三直线导轨（402）、机架拖链（403）和机架气缸（404）均布置于机架台面（401）上；所述机架台面（401）安装于支撑架（405）上，所述支撑架（405）上安装有空气组合元件（406）和三通阀（407），所述第三直线导轨（402）两端的机架台面（401）上安装有限位板（408）。