[实用新型]一种硅片抓取整理装置有效
申请号: | 202121863316.5 | 申请日: | 2021-08-11 |
公开(公告)号: | CN214269358U | 公开(公告)日: | 2021-09-24 |
发明(设计)人: | 申灿;胡庆明 | 申请(专利权)人: | 常州华数锦明智能装备技术研究院有限公司 |
主分类号: | B65G49/06 | 分类号: | B65G49/06;B65G47/90 |
代理公司: | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231 | 代理人: | 刘松 |
地址: | 213100 江苏省常州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 硅片 抓取 整理 装置 | ||
1.一种硅片抓取整理装置,其特征在于,包括:
硅片整理装置(A),所述硅片整理装置(A)包括硅片夹持机构(1)、片夹输送载台(2)、托举机构(3)、放硅片机架(4),所述硅片夹持机构(1)滑动安装于硅片夹持底座(5)上,所述托举机构(3)滑动安装于放硅片机架(4)上且驱动硅片夹持底座(5)上下移动;所述片夹输送载台(2)驱动硅片夹持机构(1)水平方向移动;
取硅片装置(B),所述取硅片装置(B)包括控制柜(6)和机器人夹具(7),所述机器人夹具(7)通过控制柜(6)控制;
周转箱移载装置(C),所述周转箱移载装置(C)包括移载台机架(8)、转角机构(9)、移载台(10)和周转箱(11),所述转角机构(9)滑动安装于移载台机架(8)上,所述移载台(10)安装于转角机构(9)上方,所述周转箱(11)放置于移载台(10)上方。
2.根据权利要求1所述的硅片抓取整理装置,其特征在于:所述硅片夹持机构(1)包括基板(101)、第一步进马达(102)、第二步进马达(103)、第一气缸(104)、第二气缸(105),所述第一步进马达(102)通过第一梯形丝杆(106)连接勾板推块(107),所述第一梯形丝杆(106)通过第一梯形丝杆支座(108)安装于勾拉底板(109)上,所述第一步进马达(102)通过勾拉马达板(110)安装于勾拉底板(109)上,所述勾拉底板(109)安装于第一直线导轨(111)上,所述勾拉底板(109)两侧连接有立板(112);所述第一直线导轨(111)安装于勾块(113)上,所述勾块(113)一端与勾板推块(107)相连,另一端通过勾板块(114)连接有勾板(115),所述勾板推块(107)的一侧安装有第一光电感应片(116);所述第二步进马达(103)驱动第二梯形丝杆(117),所述第二梯形丝杆(117)通过夹持第一滑轨块(118)安装于第二直线导轨(119)上,所述第二直线导轨(119)上滑动安装有侧夹紧板(122),所述夹持第一滑轨块(118)的一侧安装有第二光电感应片(120),两相邻的所述夹持第一滑轨块(118)之间安装有防尘布;所述第一气缸(104)和第二气缸(105)均与后侧推板相连;所述基板(101)的一侧安装有传感器(121)。
3.根据权利要求1所述的硅片抓取整理装置,其特征在于:所述片夹输送载台(2)包括步进电机(201)、第三气缸(202)、旋转气缸(203)和立柱式片夹(204),所述步进电机(201)通过同步带(205)安装于片夹输送驱动轴(206)上,所述片夹输送驱动轴(206)两端与输送同步带(207)相连,所述立柱式片夹(204)安装于输送同步带(207)上,所述立柱式片夹(204)的外侧安装有第三气缸(202)和阻挡条(208),所述立柱式片夹(204)的一端通过缓冲器安装有定位板(209);所述旋转气缸(203)安装于输送同步带(207)的尾部。
4.根据权利要求1所述的硅片抓取整理装置,其特征在于:所述托举机构(3)包括伺服电机(301)、电缸(302)、托举拖链(303)、第一滑轨(304)、第一无杆气缸(305),所述伺服电机(301)穿过电缸底板安装,两所述电缸(302)安装于电缸底板上且顶端连接有托举顶块(306),所述第一滑轨(304)安装于放片机台板(307)上,两所述电缸(302)滑动安装于第一滑轨(304)上,所述放片机台板(307)上安装有第一无杆气缸(305),所述托举拖链(303)安装于放片机台板(307)底部,所述放片机台板(307)通过载台立柱(308)安装有载台定位板(309),所述载台定位板(309)上安装有接近开关(310),所述第一滑轨(304)运动方向的两端也安装有接近开关(310)。
5.根据权利要求1所述的硅片抓取整理装置,其特征在于:所述放硅片机架(4)包括机架台面(401)、第三直线导轨(402)、机架拖链(403)和机架气缸(404),两所述第三直线导轨(402)、机架拖链(403)和机架气缸(404)均布置于机架台面(401)上;所述机架台面(401)安装于支撑架(405)上,所述支撑架(405)上安装有空气组合元件(406)和三通阀(407),所述第三直线导轨(402)两端的机架台面(401)上安装有限位板(408)。
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