[实用新型]一种半导体检验装置

权利要求书

1.一种半导体检验装置，包括检测箱(1)，其特征在于：所述检测箱(1)的内腔设有除尘机构(2)，所述除尘机构(2)包括氮气发生器(201)、导管(202)、支管(203)、进气网(204)、泄气网(205)，所述氮气发生器(201)固定连接于所述检测箱(1)的背部，所述导管(202)固定连接于所述氮气发生器(201)的顶端，所述支管(203)设有六个，六个所述支管(203)固定连接于所述导管(202)的外端，且所述支管(203)设于所述检测箱(1)的内部，所述进气网(204)固定连接于所述检测箱(1)的内壁中，所述进气网(204)与所述支管(203)相导通，所述泄气网(205)固定连接于所述检测箱(1)的外端，所述泄气网(205)与所述检测箱(1)相导通；

所述除尘机构(2)还包括滤板(206)与滤棉(207)，所述滤板(206)卡接于所述检测箱(1)的内腔中，所述滤棉(207)固定连接于所述滤板(206)的内腔中。

2.根据权利要求1所述的一种半导体检验装置，其特征在于：所述检测箱(1)的内腔设有卡合机构(3)，所述卡合机构(3)包括导槽(301)、电磁滑板(302)、左端抵板(303)、电磁滑槽(304)、右端抵板(305)与卡垫(306)，所述导槽(301)对称开设于所述检测箱(1)的内壁中，所述电磁滑板(302)滑动连接于所述导槽(301)的内腔中，所述左端抵板(303)固定连接于所述电磁滑板(302)的外端，所述电磁滑槽(304)开设于所述电磁滑板(302)的外端，所述右端抵板(305)滑动连接于所述电磁滑槽(304)的内腔中，且所述左端抵板(303)与所述右端抵板(305)的内侧固定连接有卡垫(306)，所述卡垫(306)设有多个。

3.根据权利要求2所述的一种半导体检验装置，其特征在于：所述检测箱(1)与所述左端抵板(303)之间插接有输入端接线(4)，且所述检测箱(1)与所述右端抵板(305)之间插接有输出端接线(5)。

4.根据权利要求1所述的一种半导体检验装置，其特征在于：所述检测箱(1)的背部铰接有盖板(6)，所述盖板(6)的内腔固定连接有光谱检测仪(7)，且所述检测箱(1)的一侧固定连接有终端机(8)，所述终端机(8)的外端固定连接有光谱显示器(9)。

5.根据权利要求4所述的一种半导体检验装置，其特征在于：所述盖板(6)的顶端固定连接有通电磁盒(10)，所述通电磁盒(10)的内腔设有聚焦摄像头(12)，且所述盖板(6)内腔设有连接槽(11)，所述聚焦摄像头(12)滑动连接于所述连接槽(11)的内腔中，且所述终端机(8)的外端固定连接有成像显示器(13)。

6.根据权利要求4所述的一种半导体检验装置，其特征在于：所述终端机(8)的外端固定连接有操作台(14)，所述操作台(14)与所述终端机(8)之间电性连接。

7.根据权利要求4所述的一种半导体检验装置，其特征在于：所述检测箱(1)与所述终端机(8)的底端转动连接有万向轮(15)，所述万向轮(15)设有四个。