[实用新型]一种半导体检验装置有效
申请号: | 202121864405.1 | 申请日: | 2021-08-10 |
公开(公告)号: | CN215526025U | 公开(公告)日: | 2022-01-14 |
发明(设计)人: | 陈辰;宋杰;罗官 | 申请(专利权)人: | 山东省赛富电子有限公司 |
主分类号: | G01R31/26 | 分类号: | G01R31/26 |
代理公司: | 济南尚本知识产权代理事务所(普通合伙) 37307 | 代理人: | 董洁 |
地址: | 277800 山东省枣*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 半导体 检验 装置 | ||
本实用新型公开了一种半导体检验装置,包括检测箱,检测箱的内腔设有除尘机构,氮气发生器固定连接于检测箱的背部,导管固定连接于氮气发生器的顶端,六个支管固定连接于导管的外端,进气网固定连接于检测箱的内壁中,进气网与支管相导通,泄气网固定连接于检测箱的外端,泄气网与检测箱相导通,滤棉固定连接于滤板的内腔中,通过设置的氮气发生器产生氮气,并将产生的氮气通过导管与支管传入到检测箱的内腔中,氮气不仅能够对半导体进行除尘,同时也能够对检测箱的内部进行除尘,从而防止灰尘附着在半导体的外端造成半导体污染,并且对半导体进行除尘增强光谱检测仪检测效率的同时也使得聚焦摄像头对半导体的拍摄更加清晰。
技术领域
本实用新型涉及半导体技术领域,特别是涉及一种半导体检验装置。
背景技术
半导体是指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体在收音机、电视机以及测温上有着广泛的应用。如二极管就是采用半导体制作的器件。半导体是指一种导电性可受控制,范围可从绝缘体至导体之间的材料。无论从科技或是经济发展的角度来看,半导体的重要性都是非常巨大的。如今大部分的电子产品,如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关联。常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等,而硅更是各种半导体材料中,在商业应用上最具有影响力的一种。
然而,将半导体放入检测箱时,外界的灰尘也会随之进入到检测箱中,灰尘一方面会对半导体材料造成污染,另一方面灰尘附着在半导体的外端不仅会影响光谱检测仪的检测效率,而且也会影响聚焦摄像头对半导体拍摄的清晰度,从而不利于半导体的检测。
实用新型内容
为了克服现有技术的不足,本实用新型提供一种半导体检验装置,采用除尘机构一方面对半导体进行除尘,另一方面能够对检测箱的内腔进行除尘,从而避免灰尘沾染在半导体的外端,进而不影响光谱检测仪的检测效率的同时也使得聚焦摄像头对半导体的拍摄更加清晰,使用氮气除尘,氮气作为惰性气体,增强了检测箱内部元器件工作时的安全性。
为解决上述技术问题,本实用新型提供如下技术方案:一种半导体检验装置,包括检测箱,所述检测箱的内腔设有除尘机构,所述除尘机构包括氮气发生器、导管、支管、进气网、泄气网,所述氮气发生器固定连接于所述检测箱的背部,所述导管固定连接于所述氮气发生器的顶端,所述支管设有六个,六个所述支管固定连接于所述导管的外端,且所述支管设于所述检测箱的内部,所述进气网固定连接于所述检测箱的内壁中,所述进气网与所述支管相导通,所述泄气网固定连接于所述检测箱的外端,所述泄气网与所述检测箱相导通;
所述除尘机构还包括滤板与滤棉,所述滤板卡接于所述检测箱的内腔中,所述滤棉固定连接于所述滤板的内腔中。
作为本实用新型的一种优选技术方案,所述检测箱的内腔设有卡合机构,所述卡合机构包括导槽、电磁滑板、左端抵板、电磁滑槽、右端抵板与卡垫,所述导槽对称开设于所述检测箱的内壁中,所述电磁滑板滑动连接于所述导槽的内腔中,所述左端抵板固定连接于所述电磁滑板的外端,所述电磁滑槽开设于所述电磁滑板的外端,所述右端抵板滑动连接于所述电磁滑槽的内腔中,且所述左端抵板与所述右端抵板的内侧固定连接有卡垫,所述卡垫设有多个。
作为本实用新型的一种优选技术方案,所述检测箱与所述左端抵板之间插接有输入端接线,且所述检测箱与所述右端抵板之间插接有输出端接线。
作为本实用新型的一种优选技术方案,所述检测箱的背部铰接有盖板,所述盖板的内腔固定连接有光谱检测仪,且所述检测箱的一侧固定连接有终端机,所述终端机的外端固定连接有光谱显示器。
作为本实用新型的一种优选技术方案,所述盖板的顶端固定连接有通电磁盒,所述通电磁盒的内腔设有聚焦摄像头,且所述盖板内腔设有连接槽,所述聚焦摄像头滑动连接于所述连接槽的内腔中,且所述终端机的外端固定连接有成像显示器。
作为本实用新型的一种优选技术方案,所述终端机的外端固定连接有操作台,所述操作台与所述终端机之间电性连接。
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