[实用新型]晶圆激光切割用晶圆片固定结构

权利要求书

1.晶圆激光切割用晶圆片固定结构，包括装置主体（1），所述装置主体（1）的上表面固定连接有放置台（3），所述装置主体（1）的下表面四角均固定连接有支撑脚（2），其特征在于：所述放置台（3）的底端固定连接有蓄水块（4），所述放置台（3）通过蓄水块（4）与装置主体（1）连接，所述蓄水块（4）的内部开设有蓄水槽（9），所述蓄水槽（9）的内部安装有抽水机（10），所述抽水机（10）的顶端连接有输水管（8），所述输水管（8）的另一端设有用于喷水的喷头（7），所述蓄水块（4）的前表面固定连接有用于支撑输水管（8）的第一支撑杆（5），所述第一支撑杆（5）的顶端设置有第二支撑杆（6）。

2.根据权利要求1所述的晶圆激光切割用晶圆片固定结构，其特征在于：所述第一支撑杆（5）的前表面和后表面顶端均设置有拨块（11），所述拨块（11）的内侧固定连接有连接柱（13），所述连接柱（13）贯穿于第一支撑杆（5），所述连接柱（13）的外表面设置有限位弹簧（14），所述连接柱（13）的另一端固定连接有限位卡柱（15），所述限位弹簧（14）的一端固定连接于第一支撑杆（5），所述限位弹簧（14）的另一端固定连接于限位卡柱（15）。

3.根据权利要求1所述的晶圆激光切割用晶圆片固定结构，其特征在于：所述第二支撑杆（6）的前表面中端设有用于安装输水管（8）的第一卡环（12），所述第二支撑杆（6）的后表面中端设有用于安装输水管（8）的第二卡环（18），所述第二卡环（18）和第一卡环（12）呈对称设置，所述第一卡环（12）的一端固定连接有固定轴（16），所述第二卡环（18）的一端固定连接有转动轴（17），所述固定轴（16）和转动轴（17）转动连接，所述第一卡环（12）的另一端固定连接有螺帽（22），所述第二卡环（18）的另一端固定连接有第二固定块（21），所述螺帽（22）的前表面设置有螺栓（19），所述螺栓（19）均贯穿第二固定块（21）和螺帽（22），所述螺栓（19）的外表面螺纹套接有第一固定块（20）。

4.根据权利要求1所述的晶圆激光切割用晶圆片固定结构，其特征在于：所述抽水机（10）的一端可拆卸连接有用于防止异物进入的防护罩（23），所述防护罩（23）呈网状结构。

5.根据权利要求1所述的晶圆激光切割用晶圆片固定结构，其特征在于：所述放置台（3）的上表面开设有用于水流动的通孔，所述通孔共设置有五个，五个所述通孔呈圆形分布。

6.根据权利要求1所述的晶圆激光切割用晶圆片固定结构，其特征在于：所述第一支撑杆（5）为半中空圆柱体结构，所述第一支撑杆（5）的前表面和后表面顶端均开设有圆形孔洞。