[实用新型]大负载二维精密气浮平台

说明书

本实用新型公开了一种大负载二维精密气浮平台，包括由上至下垂直设置的上轴气浮直线平台、底轴气浮直线平台，所述底轴气浮直线平台包括底轴气浮导轨以及滑动设于所述底轴气浮导轨上的底轴负载板，所述底轴负载板顶部平行设有一对安装台，一对安装台的上顶面位于同一水平面；所述上轴气浮直线平台的底部与一对安装台的顶面可拆卸连接。本实用新型具有的有益效果是，既可保证上轴气浮直线平面底部安装的水平度，进而保证上轴气浮直线平台底部的水平状态，而且降低了加工成本和加工工作量。

技术领域

本实用新型涉及气浮平台技术领域。更具体地说，本实用新型涉及一种大负载二维精密气浮平台。

背景技术

在精密加工、精密测量及半导体等行业中直线运动平台得到广泛的应用，而随着这些行业的不断发展，对于直线运动平台的运行精度要求也越来越高。气浮平台因其无接触支撑，能够快速运动和精准定位，而得到越来越广泛的应用。现有的二维气浮平台，从上至下垂直连接的为上轴气浮直线平台和底轴气浮直线平台，其中，底轴气浮直线平台上气浮支撑有负载板，上轴气浮直线平台的底部与底轴负载板固接，然而现有的底轴负载板要么是整个顶面直接加工成所需平面度，但这种方式成本太高且加工繁琐，工件容易发生应力变形，要么整个底轴负载板顶面的平面度不够，导致大行程(通常行程大于200mm)的二维气浮平台的运行平面度、俯仰和定位等精度受到影响而使得相应精度不能做的很高。

实用新型内容

本实用新型的一个目的是解决至少上述问题，并提供一种大负载二维精密气浮平台，其通过在底轴负载板顶部设置一对顶面位于同一水平面的凸台，在降低加工成本和工作量的同时保证了上轴基座的水平状态，提高了大行程的二维气浮平台的精确性。

为了实现根据本实用新型的这些目的和其它优点，提供了一种大负载二维精密气浮平台，包括由上至下垂直设置的上轴气浮直线平台、底轴气浮直线平台，所述底轴气浮直线平台包括底轴气浮导轨以及滑动设于所述底轴气浮导轨上的底轴负载板，所述底轴负载板顶部平行设有一对安装台，一对安装台的上顶面位于同一水平面；所述上轴气浮直线平台的底部与一对安装台的顶面可拆卸连接。

优选的是，所述安装台的高度为0.2-0.3mm。

优选的是，每一安装台上对应设有多个螺孔，所述上轴气浮直线平台底部贯穿设有两通孔组，每一通孔组包括多个通孔，每组的多个通孔沿所述上轴气浮直线平台长度方向设置，每一通孔组的多个通孔与一安装台上的多个螺孔一一对应，所述通孔与对应的螺孔通过螺栓连接；其中，所述通孔的直径比所述螺孔的直径大0.6-0.8mm。

优选的是，每一通孔组中的通孔的数量为四。

优选的是，所述底轴气浮导轨包括基座，所述基座上相对设有平行的导轨；所述底轴负载板两侧相对设有多个多孔节流的气浮块，所述气浮块的出气方向朝向所述导轨的侧壁，所述底轴负载板底部设有多个小孔节流单元的出气孔；所述底轴负载板通过直线电机驱动。

优选的是，所述导轨呈长方体形，所述底轴负载板包括顶板和位于所述顶板两侧的侧板，所述顶板底部设有多个凸台，多个凸台底部分别与两个导轨顶部接触，所述凸台上设有所述出气孔，两个侧板的内壁分别与两个导轨的侧壁接触。

优选的是，多个气浮块分别嵌设于两个侧板上。

优选的是，还包括一对预载板，一对预载板相对卡设于所述基座两侧，所述预载板具有铁磁性，两个侧板底部均设有永磁铁，所述永磁铁与所述预载板磁吸引连接。

优选的是，所述底轴负载板上设有气管接头，所述底轴负载板上相对设有与所述气管接头连通的气流通道，所述气流通道上设有小孔节流单元，所述小孔节流单元与所述出气孔连通。

优选的是，所述基座上位于两个导轨之间相对设有缓冲器，所述底轴负载板底部对应处设有防撞块。

本实用新型至少包括以下有益效果：