[实用新型]一种特气柜系统

权利要求书

1.一种特气柜系统，包括壳体和安全供气系统，其特征在于，所述特气柜顶部安装有熔断温度68℃喷淋头(12)和烟感报警器(13)，所述安全供气系统集中设置在所述壳体内，所述安全供气系统包括抽真空模块(1)、高纯氮气充气模块(2)、特气供气模块(3)；

所述抽真空模块(1)包括抽真空管路(16)，所述抽真空管路(16)一端口为普纯氮气充气孔(5)、另一端口为放空口(6)，所述抽真空管路(16)串接有真空发生器(4)；

所述高纯氮气充气模块(2)包括吹扫管路(17)，所述吹扫管路(17)一端口为高纯氮气充气孔(15)、另一端连通所述真空发生器(4)，所述吹扫管路(17)靠近两端的位置串接有第一真空压力表(22)、第二真空压力表(23)，所述第一真空压力表(22)与所述第二真空压力表(23)之间并联有调压管路(19)，所述调压管路(19)串接调压减压阀(9)；

所述特气供气模块(3)包括特气供气管(18)、特气出气管路(8)，所述特气供气管(18)一端连通钢瓶(11)、另一端连接在所述吹扫管路(17)上，所述特气出气管路(8)一端连接在调压管路(19)上，另一端为特气供气口(14)。

2.根据权利要求1所述的特气柜系统，其特征在于，所述抽真空管路(16)依次串接有第一手动隔离阀(26)、第一止回阀(35)和真空发生器(4)。

3.根据权利要求1所述的特气柜系统，其特征在于，所述吹扫管路(17)依次串接有第一真空压力表(22)、第二手动隔离阀(27)、第二止回阀(36)、第三手动隔离阀(28)、第二真空压力表(23)。

4.根据权利要求3所述的特气柜系统，其特征在于，所述第三手动隔离阀(28)与所述第二真空压力表(23)之间并联有第一吹扫支路和第二吹扫支路，所述第一吹扫支路依次串接第三止回阀(37)、第四手动隔离阀(29)、第五手动隔离阀(30)，与所述第五手动隔离阀(30)并联有调压管路(19)，所述第二吹扫支路与所述第一吹扫支路组成相同。

5.根据权利要求1所述的特气柜系统，其特征在于，所述调压管路(19)依次串接第六手动隔离阀(31)、调压减压阀(9)、第七手动隔离阀(32)、第四止回阀(38)。

6.根据权利要求1所述的特气柜系统，其特征在于，所述特气供气管(18)依次串接有第五止回阀(39)、第八手动隔离阀(33)、第三真空压力表(24)、初效过滤器(10)，所述初效过滤器(10)尘埃粒子过滤效率≥90％。

7.根据权利要求1所述的特气柜系统，其特征在于，所述特气出气管路(8)依次串接有高效过滤器(7)、第九手动隔离阀(34)、第一气动隔离阀(40)、第四真空压力表(25)、第二气动隔离阀(41)，所述高效过滤器(7)尘埃粒子过滤效率≥99.995％。

8.根据权利要求1～7任一项所述的特气柜系统，其特征在于，所述安全供气系统内所有的连接方式采用VCR接头连接，VCR接头配套纯镍垫片，接头材质EP级SUS316L不锈钢，垫片耐温315℃，接头耐温537℃，真空泄漏率≤4×10-11std·cm³/s。

9.根据权利要求1～7任一项所述的特气柜系统，其特征在于，所述系统内管道和阀门材质均采用EP级SUS316L不锈钢材质，内表面光洁度Ra≤0.15μm。