[实用新型]一种特气柜系统

说明书

本申请提供了一种特气柜系统，包括壳体和安全供气系统，特气柜顶部安装有熔断温度68℃喷淋头和烟感报警器，安全供气系统集中设置在壳体内，安全供气系统包括抽真空模块、高纯氮气充气模块、特气供气模块。本申请提供的特气柜系统具有供气纯度高、安全度高等特点。

技术领域

本实用新型属于特气柜技术领域，尤其涉及一种特气柜系统。

背景技术

半导体芯片及精密仪器研发实验室及生产场所经常需要使用特气作为生产材料，特气是电子产品生产外延、化学气相沉积、刻蚀、掺杂等工艺中使用的自燃性、可燃性、剧毒性、毒性、腐蚀性、氧化性、惰性等特种气体。

特气要求超纯、超净，大多数特气纯度均控制在5～6N，杂质气体浓度控制在ppb(9～10)。特气中有很多爆炸下限很低的易燃易爆气体，如硅烷(爆炸下限仅为1％，且遇空气可自燃)，为保障生命财产安全，特气供气环节的安全存在极高的要求。

实用新型内容

本实用新型提供了一种特气柜系统，用于解决特气安全供气的技术问题。

根据本实用新型提供的一种特气柜系统，包括壳体和安全供气系统，所述特气柜顶部安装有熔断温度68℃喷淋头和烟感报警器，所述安全供气系统集中设置在所述壳体内，所述安全供气系统包括抽真空模块、高纯氮气充气模块、特气供气模块；

所述抽真空模块包括抽真空管路，所述抽真空管路一端口为普纯氮气充气孔、另一端口为放空口，所述抽真空管路串接有真空发生器；

所述高纯氮气充气模块包括吹扫管路，所述吹扫管路一端口为高纯氮气充气孔、另一端连通所述真空发生器，所述吹扫管路靠近两端的位置串接有第一真空压力表、第二真空压力表，所述第一真空压力表与所述第二真空压力表之间并联有调压管路，所述调压管路串接调压减压阀；

所述特气供气模块包括特气供气管、特气出气管路，所述特气供气管一端连通钢瓶、另一端连接在所述吹扫管路上，所述特气出气管路一端连接在调压管路上，另一端为特气供气口。

一种可选的实施方式，所述抽真空管路依次串接有第一手动隔离阀、第一止回阀和真空发生器。

一种可选的实施方式，所述所述吹扫管路依次串接有第一真空压力表、第二手动隔离阀、第二止回阀、第三手动隔离阀、第二真空压力表。

一种可选的实施方式，所述第三手动隔离阀与所述第二真空压力表之间并联有第一吹扫支路和第二吹扫支路，所述第一吹扫支路依次串接第三止回阀、第四手动隔离阀、第五手动隔离阀，与所述第五手动隔离阀并联有调压管路，所述第二吹扫支路与所述第一吹扫支路组成相同。

一种可选的实施方式，所述调压管路依次串接第六手动隔离阀、调压减压阀、第七手动隔离阀、第四止回阀。

一种可选的实施方式，所述特气供气管依次串接有第五止回阀、第八手动隔离阀、第三真空压力表、初效过滤器，所述初效过滤器尘埃粒子过滤效率≥90％。

一种可选的实施方式，所述特气出气管路依次串接有高效过滤器、第九手动隔离阀、第一气动隔离阀、第四真空压力表、第二气动隔离阀，所述高效过滤器尘埃粒子过滤效率≥99.995％。

一种可选的实施方式，所述安全供气系统内所有的连接方式采用VCR接头连接，VCR接头配套纯镍垫片，接头材质EP级SUS316L不锈钢，垫片耐温315℃，接头耐温537℃，真空泄漏率≤4×10-11std·cm³/s。

一种可选的实施方式，所述系统内管道和阀门材质均采用EP级SUS316L不锈钢材质，内表面光洁度Ra≤0.15μm。