[实用新型]一种晶元篮清洗装置

权利要求书

1.一种晶元篮清洗装置，包括一侧设有喷淋循环单元的机体，还包括毛刷驱动机构，其特征在于：所述喷淋循环单元包括设在机体外侧的喷淋循环槽，还包括设在所述机体内腔上方的喷淋组，所述喷淋循环槽出水口通过管道与喷淋组进水口连通连接，所述喷淋组内侧设有两端活动穿设在机体侧壁的毛刷组，所述毛刷组的内侧设有往复平移驱动机构，所述往复平移驱动机构的上表面设有装夹平台，所述装夹平台的上部设有工装夹具部件，所述毛刷组输入端与穿设在机体外壁的毛刷驱动机构输出端相连。

2.如权利要求1所述的一种晶元篮清洗装置，其特征在于：所述装夹平台底部与往复平移驱动机构输出端相连。

3.如权利要求1所述的一种晶元篮清洗装置，其特征在于：所述喷淋组包括对称设在机体内腔的喷淋板，还包括所述喷淋板表面的喷嘴。

4.如权利要求1所述的一种晶元篮清洗装置，其特征在于：所述毛刷组包括上下对称设置的至少三对毛刷杆件。

5.如权利要求1所述的一种晶元篮清洗装置，其特征在于：所述喷淋循环槽进水口连通连接有循环泵，所述循环泵进水口与喷淋组出水口连通连接。

6.如权利要求1所述的一种晶元篮清洗装置，其特征在于：所述机体进出料端壁面设有气缸门，机体侧壁设有观察窗。