[实用新型]一种晶元篮清洗装置

说明书

本实用新型涉及一种晶元篮清洗装置，一侧设有喷淋循环单元的机体，还包括毛刷驱动机构，所述喷淋循环单元包括设在机体外侧的喷淋循环槽，还包括设在所述机体内腔上方的喷淋组，所述喷淋循环槽出水口通过管道与喷淋组进水口连通连接，所述喷淋组内侧设有两端活动穿设在机体侧壁的毛刷组，所述毛刷组的内侧设有往复平移驱动机构，所述往复平移驱动机构的上表面设有装夹平台，所述装夹平台的上部设有工装夹具部件，所述毛刷组输入端与穿设在机体外壁的毛刷驱动机构输出端相连。该晶元篮清洗装置，本装置能够提高清洗效率和洁净度的同时，也对花篮齿根充分清洁，避免损坏花蓝，且对清洗水循环利用，具有显著的节水环保效果。

【技术领域】

本实用新型涉及半导体加工领域，具体涉及一种晶元篮清洗装置。

【背景技术】

半导体行业中晶元、光伏行业中的晶元以及LED行业的蓝宝石晶片等在制造过程中都必须经过清洗工序，以清除硅/晶片表面的金属离子污染、有机物污染或颗粒物污染，而运载晶片的花篮，主要靠人工用刷子进行清洗，由于花篮的齿尖比较密集，清洗不方便，导致花篮的齿根部分会出现清洗不干净的情况，同时还会损坏花蓝，花篮清洗不干净，会导致晶片出现脏污情况，从而引起晶片不良降级。针对上述提出的问题，亟需设计出一种晶元篮清洗装置。

【实用新型内容】

为解决上述问题，本实用新型的目的在于提供一种晶元篮清洗装置，解决了现有的晶元篮主要靠人工用刷子进行清洗，由于花篮的齿尖比较密集，清洗不方便，导致花篮的齿根部分会出现清洗不干净的情况，同时还会损坏花蓝，花篮清洗不干净，会导致晶片出现脏污情况，从而引起晶片不良降级的问题。

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：一种晶元篮清洗装置，包括一侧设有喷淋循环单元的机体，还包括毛刷驱动机构，所述喷淋循环单元包括设在机体外侧的喷淋循环槽，还包括设在所述机体内腔上方的喷淋组，所述喷淋循环槽出水口通过管道与喷淋组进水口连通连接，所述喷淋组内侧设有两端活动穿设在机体侧壁的毛刷组，所述毛刷组的内侧设有往复平移驱动机构，所述往复平移驱动机构的上表面设有装夹平台，所述装夹平台的上部设有工装夹具部件，所述毛刷组输入端与穿设在机体外壁的毛刷驱动机构输出端相连。

本实用新型中的一种晶元篮清洗装置进一步设置为：所述装夹平台底部与往复平移驱动机构输出端相连。

本实用新型中的一种晶元篮清洗装置进一步设置为：所述喷淋组包括对称设在机体内腔的喷淋板，还包括所述喷淋板表面的喷嘴。

本实用新型中的一种晶元篮清洗装置进一步设置为：所述毛刷组包括上下对称设置的至少三对毛刷杆件。

本实用新型中的一种晶元篮清洗装置进一步设置为：所述喷淋循环槽进水口连通连接有循环泵，所述循环泵进水口与喷淋组出水口连通连接。

本实用新型中的一种晶元篮清洗装置进一步设置为：所述机体进出料端壁面设有气缸门，机体侧壁设有观察窗。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

(1)、该晶元篮清洗装置，通过往复平移驱动机构将装夹平台移动至机体内腔的初始位置，关闭气缸门，向喷淋循环槽内部注入清洗水，开启喷淋循环单元的循环泵，一侧的管道将清洗水送入喷淋组，通过喷淋组的喷嘴将水喷在晶元篮上，毛刷驱动机构通过履带带动毛刷组内部上下毛刷杆转动，对晶元篮进行刷洗，相较于现有依靠人工用刷子进行清洗，本装置能够提高清洗效率和洁净度的同时，也能够对花篮齿根充分清洁，避免损坏花蓝。

(2)、该晶元篮清洗装置，通过将刷洗过车中产生的废水从机体出水口排入循环泵，经喷淋循环槽处理后再利用，具有显著的节水环保效果。

【附图说明】

图1是本实用新型的整体立面结构示意图；

图2是本实用新型的机体侧视结构示意图；

图3是本实用新型的整体俯视结构示意图。