[实用新型]磁控溅射镀膜生产线系统

权利要求书

1.磁控溅射镀膜生产线系统，其特征在于，包括：

多节真空腔体组件(100)，所述真空腔体组件(100)包括负载组件(110)；

分控柜(200)，与所述真空腔体组件(100)一一对应，所述分控柜(200)设置有控制模块(210)；

控制线缆组(300)，与所述控制模块(210)一一对应，所述控制模块(210)通过所述控制线缆组(300)与所述负载组件(110)电性连接；

主控柜(400)，设置有处理模块(410)，所述处理模块(410)与所述控制模块(210)通信连接。

2.根据权利要求1所述的磁控溅射镀膜生产线系统，其特征在于：还包括通信线缆(500)，所述分控柜(200)设置有与所述控制模块(210)电性连接的第一有线通信模块(220)，所述主控柜(400)设置有与所述处理模块(410)电性连接的第二有线通信模块(420)，所述第一有线通信模块(220)通过所述通信线缆(500)与所述第二有线通信模块(420)电性连接。

3.根据权利要求1所述的磁控溅射镀膜生产线系统，其特征在于：所述真空腔体组件(100)设置有真空室，多个所述真空腔体组件(100)首尾连接以令相邻的所述真空室相连通，所述真空腔体组件(100)包括真空隔板(120)，所述真空隔板(120)能够将相邻的所述真空室相互间隔。

4.根据权利要求3所述的磁控溅射镀膜生产线系统，其特征在于：所述负载组件(110)包括与所述真空隔板(120)连接的驱动件(111)，所述控制模块(210)包括控制器(211)以及继电器(212)，所述控制线缆组(300)包括驱动控制线组(310)，所述控制器(211)与所述继电器(212)的控制端电性连接，所述继电器(212)通过所述驱动控制线组(310)与所述驱动件(111)电性连接。

5.根据权利要求4所述的磁控溅射镀膜生产线系统，其特征在于：所述负载组件(110)包括电机(112)，所述控制模块(210)包括变频器(213)，所述控制线缆组(300)包括电机控制线组(320)，所述控制器(211)与所述变频器(213)的控制端电性连接，所述变频器(213)通过所述电机控制线组(320)与所述电机(112)电性连接。

6.根据权利要求5所述的磁控溅射镀膜生产线系统，其特征在于：所述控制模块(210)还包括接触器(214)，所述控制器(211)与所述接触器(214)的控制端电性连接，所述变频器(213)与所述接触器(214)电性连接，所述接触器(214)通过所述电机控制线组(320)与所述电机(112)电性连接。

7.根据权利要求5所述的磁控溅射镀膜生产线系统，其特征在于：所述控制模块(210)包括电机保护器(215)，所述变频器(213)与所述电机保护器(215)电性连接，所述电机保护器(215)通过所述电机控制线组(320)与所述电机(112)电性连接。

8.根据权利要求1所述的磁控溅射镀膜生产线系统，其特征在于：还包括供电线缆组(600)以及配电线缆(700)，所述分控柜(200)设置有供电模块(230)，所述供电模块(230)通过所述供电线缆组(600)与所述负载组件(110)电性连接，所述主控柜(400)设置有配电模块(430)，所述配电模块(430)通过所述配电线缆(700)与所述供电模块(230)电性连接。

9.根据权利要求8所述的磁控溅射镀膜生产线系统，其特征在于：所述供电模块(230)包括断路器(231)以及电源适配组件(232)，所述控制模块(210)与所述断路器(231)的控制端电性连接，所述配电线缆(700)与所述断路器(231)电性连接，所述断路器(231)与所述电源适配组件(232)电性连接，所述电源适配组件(232)通过所述供电线缆组(600)与所述负载组件(110)电性连接。

10.根据权利要求8所述的磁控溅射镀膜生产线系统，其特征在于：所述分控柜(200)设置有第一接线端子组以及第二接线端子组，所述控制模块(210)与所述第一接线端子组电性连接，所述第一接线端子组与所述控制线缆组(300)可拆卸地连接，所述供电模块(230)通过与所述第二接线端子组电性连接，所述第二接线端子组与所述供电线缆组(600)可拆卸地连接。