[实用新型]磁控溅射镀膜生产线系统

说明书

本实用新型公开了磁控溅射镀膜生产线系统，包括：多节真空腔体组件，所述真空腔体组件包括负载组件；分控柜，与所述真空腔体组件一一对应，所述分控柜设置有控制模块；控制线缆组，与所述控制模块一一对应，所述控制模块通过所述控制线缆组与所述负载组件电性连接；主控柜，设置有处理模块，所述处理模块与所述控制模块通信连接。不同分控柜的控制线缆组互不干扰，能够简化控制线缆组的排布，并且每节真空腔体组件一一对应设置有分控柜，能够减少控制线缆组走线长度的消耗。在新插入真空腔体组件时，将真空腔体组件与分控柜一起移动，无需拆装控制模块与负载组件之间的控制线缆组，有利于简化操作，节省时间。

技术领域

本实用新型涉及磁控溅射膜生产线领域，特别涉及磁控溅射镀膜生产线系统。

背景技术

连续式磁控溅射镀膜生产线包括有多节首尾连接的真空腔体组件，不同真空腔体组件能够进行不同的加工工序实现不同功能，根据功能能够将真空腔体组件分为清洁室、缓冲室、镀膜室等。

参考图1，现有技术中，每节真空腔体组件900中包括有不同的负载部件，电控柜910通过控制线缆920分别与每一节的负载部件连接，使得每节真空腔体组件900与电控柜920之间都连接有多根控制线缆910，导致线缆的数量繁多并且走线排布麻烦。

同时，磁控溅射镀膜生产线中的真空腔体组件900数量越多，长度会越长，一般整体长度普遍在20米以上，由于控制线缆920均与同一电控柜910连接，控制线缆920会随整体长度加长消耗会越来越多。当工艺改变等原因，需要插入新真空腔体组件900时，新插入真空腔体组件900之后的所有真空腔体组件900，即需要移动的真空腔体组件900与电控柜910的距离均会改变，由于控制线缆920长度的限制，导致新插入真空腔体组件900之后的所有真空腔体组件900，均需要与原来连接的控制线缆920拆分，移动后与长度足够的控制线缆920重新连接，操作麻烦并且花费时间长。

另外，当真空腔体组件900数量增多，电控柜910内的控制模块，如PLC的控制点数可能不足，需要对电控柜910进行加装、拼柜的处理，操作麻烦。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出磁控溅射镀膜生产线系统，其能够简化控制线缆组的排布，减少控制线缆组的长度消耗，并且在新增加真空腔体组件时，简化操作。

根据本实用新型的磁控溅射镀膜生产线系统，包括：多节真空腔体组件，所述真空腔体组件包括负载组件；分控柜，与所述真空腔体组件一一对应，所述分控柜设置有控制模块；控制线缆组，与所述控制模块一一对应，所述控制模块通过所述控制线缆组与所述负载组件电性连接；主控柜，设置有处理模块，所述处理模块与所述控制模块通信连接。

根据本实用新型实施例的磁控溅射镀膜生产线系统，至少具有如下有益效果：分控柜中的控制模块通过控制线缆组与对应真空腔体组件上的负载组件电性连接，主控柜中的处理模块分别与每个分控柜中的控制模块通信连接，以协调不同控制模块控制负载组件工作。以此结构，不同分控柜的控制线缆组互不干扰，能够简化控制线缆组的排布，并且每节真空腔体组件一一对应设置有分控柜，能够减少控制线缆组走线长度的消耗。同时，在新插入真空腔体组件时，将真空腔体组件与分控柜一起移动，无需拆装控制模块与负载组件之间的控制线缆组，有利于简化操作，节省时间。另外，因为真空腔体组件与分控柜一一对应，真空腔体组件数量增多，亦能够避免控制模块控制点数不够的情况出现，新增真空腔体组件无需对主控柜进行加装等处理，令操作更加便捷。

根据本实用新型的一些实施例，还包括通信线缆，所述分控柜设置有与所述控制模块电性连接的第一有线通信模块，所述主控柜设置有与所述处理模块电性连接的第二有线通信模块，所述第一有线通信模块通过所述通信线缆与所述第二有线通信模块电性连接。

根据本实用新型的一些实施例，所述真空腔体组件设置有真空室，多个所述真空腔体组件首尾连接以令相邻的所述真空室相连通，所述真空腔体组件包括真空隔板，所述真空隔板能够将相邻的所述真空室相互间隔。