[实用新型]一种电子束蒸发台源梭子挡板装置有效
| 申请号： | 202121895572.2 | 申请日： | 2021-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN216514091U | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 马溢华;赵志强 | 申请（专利权）人： | 无锡芯谱半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30 |
| 代理公司： | 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙) 11489 | 代理人： | 何磊 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市会*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 电子束 蒸发 梭子 挡板 装置 | ||
1.一种电子束蒸发台源梭子挡板装置，其特征在于：包括梭子挡板(1)，所述梭子挡板(1)为水滴垂截面结构，且在所述梭子挡板(1)的小直径端一侧设有连接轴(2)，所述连接轴(2)上开设有十字形凹槽(9)，所述梭子挡板(1)一侧沿所述梭子挡板(1)边线至梭子挡板(1)大直径一端分别设有第一外弧形挡板(4)和第二外弧形挡板(7)，所述第一外弧形挡板(4)和第二外弧形挡板(7)在梭子挡板(1)大直径一端不相交留有开口。
2.根据权利要求1所述的一种电子束蒸发台源梭子挡板装置，其特征在于：所述梭子挡板(1)上铺设有耐高温薄膜(5)。
3.根据权利要求2所述的一种电子束蒸发台源梭子挡板装置，其特征在于：所述第一外弧形挡板(4)的内侧设有第一缓冲弹簧(11)，且所述第一缓冲弹簧(11)远离所述第一外弧形挡板(4)的一端安装有第一内弧形缓存带(3)。
4.根据权利要求3所述的一种电子束蒸发台源梭子挡板装置，其特征在于：所述第二外弧形挡板(7)的内侧安装有第二缓冲弹簧(6)，所述第二缓冲弹簧(6)远离所述第二外弧形挡板(7)的一端安装有第二内弧形缓存带(8)。
5.根据权利要求4所述的一种电子束蒸发台源梭子挡板装置，其特征在于：所述连接轴(2)设有贯穿所述梭子挡板(1)的贯穿杆(12)，且在所述连接轴(2)中心处开设有通口(10)。
6.根据权利要求5所述的一种电子束蒸发台源梭子挡板装置，其特征在于：所述连接轴(2)的直径为38.1cm，所述十字形凹槽(9)的槽宽为4.6cm，所述梭子挡板(1)的大直径一端的直径为190cm。
7.根据权利要求6所述的一种电子束蒸发台源梭子挡板装置，其特征在于：所述梭子挡板(1)的小直径端至大直径端长度为304.5cm，所述第一外弧形挡板(4)和第二外弧形挡板(7)在梭子挡板(1)大直径端围出的开口宽度为40cm。
8.根据权利要求7所述的一种电子束蒸发台源梭子挡板装置，其特征在于：所述梭子挡板(1)底部至第一外弧形挡板(4)或第二外弧形挡板(7)垂直顶面为16.5cm，所述第一外弧形挡板(4)和第二外弧形挡板(7)的厚度为1.5cm。
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