[实用新型]一种电子束蒸发台源梭子挡板装置

说明书

本实用新型公开了一种电子束蒸发台源梭子挡板装置，属于梭子挡板装置技术领域，包括梭子挡板，所述梭子挡板为水滴垂截面结构，且在所述梭子挡板的小直径端一侧设有连接轴，所述连接轴上开设有十字形凹槽，通过水滴型的垂截面结构使其可以具有良好的格挡功能，并采用连接轴上开设有十字形凹槽可以拆卸方便，在梭子挡板一侧沿梭子挡板边线至梭子挡板大直径一端分别设有第一外弧形挡板和第二外弧形挡板可以起到放置反射飞溅出去的金属源跑出的功能，从而高效的实现了遮挡功能。

技术领域

本实用新型涉及一种梭子挡板装置，特别是涉及一种电子束蒸发台源梭子挡板装置，属于梭子挡板装置技术领域。

背景技术

蒸发源梭子挡板的开合在金属蒸发过程中有着很重要的作用，当金属源被高压电子束加热到饱和蒸汽的时候，梭子挡板是在闭合遮挡的位置，如果不能完全遮挡就会生长在硅片表面，造成产品报废；挡板的材质也会对挡板开关有很大的影响，当做镍源材料时，由于磁性的原因也会影响梭子挡板的开合，为此设计一种电子束蒸发台源梭子挡板装置来优化上述问题。

实用新型内容

本实用新型的主要目的是为了提供一种电子束蒸发台源梭子挡板装置。

本实用新型的目的可以通过采用如下技术方案达到：

一种电子束蒸发台源梭子挡板装置，包括梭子挡板，所述梭子挡板为水滴垂截面结构，且在所述梭子挡板的小直径端一侧设有连接轴，所述连接轴上开设有十字形凹槽，所述梭子挡板一侧沿所述梭子挡板边线至梭子挡板大直径一端分别设有第一外弧形挡板和第二外弧形挡板，所述第一外弧形挡板和第二外弧形挡板在梭子挡板大直径一端不相交留有开口。

优选的，所述梭子挡板上铺设有耐高温薄膜。

优选的，所述第一外弧形挡板的内侧设有第一缓冲弹簧，且所述第一缓冲弹簧远离所述第一外弧形挡板的一端安装有第一内弧形缓存带。

优选的，所述第二外弧形挡板的内侧安装有第二缓冲弹簧，所述第二缓冲弹簧远离所述第二外弧形挡板的一端安装有第二内弧形缓存带。

优选的，所述连接轴设有贯穿所述梭子挡板的贯穿杆，且在所述连接轴中心处开设有通口。

优选的，所述连接轴的直径为38.1cm，所述十字形凹槽的槽宽为4.6cm，所述梭子挡板的大直径一端的直径为190cm。

优选的，所述梭子挡板的小直径端至大直径端长度为304.5cm，所述第一外弧形挡板和第二外弧形挡板在梭子挡板大直径端围出的开口宽度为40cm。

优选的，所述梭子挡板底部至第一外弧形挡板或第二外弧形挡板垂直顶面为16.5cm，所述第一外弧形挡板和第二外弧形挡板的厚度为1.5cm。

本实用新型的有益技术效果：

本实用新型提供的一种电子束蒸发台源梭子挡板装置，通过水滴型的垂截面结构使其可以具有良好的格挡功能，并采用连接轴上开设有十字形凹槽可以拆卸方便，在梭子挡板一侧沿梭子挡板边线至梭子挡板大直径一端分别设有第一外弧形挡板和第二外弧形挡板可以起到放置反射飞溅出去的金属源跑出的功能，从而高效的实现了遮挡功能。

附图说明

图1为按照本实用新型的一种电子束蒸发台源梭子挡板装置的一优选实施例的第一实施例立体结构示意图

图2为按照本实用新型的一种电子束蒸发台源梭子挡板装置的一优选实施例的第二实施例和第三实施例装置整体立体结构图；

图3为按照本实用新型的一种电子束蒸发台源梭子挡板装置的一优选实施例的第二实施例和第三实施例主视图；

图4为按照本实用新型的一种电子束蒸发台源梭子挡板装置的一优选实施例的第二实施例和第三实施例侧视图。