[实用新型]一种用于卷绕镀膜设备的清洗模块

权利要求书

1.一种用于卷绕镀膜设备的清洗模块，其特征在于：主要包括清洗作用面和干冰供应源；清洗作用面设置在卷绕镀膜设备的真空室内，在清洗模块的上方接近清洗作用面的位置上设置有清洗相位；移动挡板在移动机构的驱动下移至清洗相位时，清洗模块对移动挡板上的附着物进行真空环境下的清洗。

2.根据权利要求1所述的用于卷绕镀膜设备的清洗模块，其特征在于：清洗作用面的上表面为内凹的弧形曲面；在清洗作用面的上表面上布置有由多列喷嘴组成的喷嘴阵列，喷嘴的朝向为清洗作用面的上表面的法向方向。

3.根据权利要求2所述的用于卷绕镀膜设备的清洗模块，其特征在于：在清洗作用面上与弧形曲面母线垂直的一端设置有一排吹扫喷嘴，在清洗作用面上与这排吹扫喷嘴相对的一端设置有收集槽。

4.根据权利要求1所述的用于卷绕镀膜设备的清洗模块，其特征在于：在清洗作用面的四个侧边上设置有围板，使清洗模块对移动挡板进行清洗时形成一个相对独立的空间；干冰供应源设置在真空室的外部，干冰供应源与清洗作用面相连接。

5.根据权利要求3所述的用于卷绕镀膜设备的清洗模块，其特征在于：清洗模块对处于清洗相位的移动挡板进行清洗时，通过喷嘴阵列向移动挡板的下表面喷射干冰颗粒进行清洗，并通过吹扫喷嘴吹出的高压气体将落在清洗作用面上的清洗产物吹扫至收集槽中收集。

6.根据权利要求1所述的用于卷绕镀膜设备的清洗模块，其特征在于：移动挡板处于清洗相位上时，移动挡板的下表面与清洗作用面的上表面之间的间距小于35mm。