[实用新型]一种用于卷绕镀膜设备的清洗模块

说明书

本实用新型公开了一种用于卷绕镀膜设备的清洗模块，主要包括清洗作用面和干冰供应源；清洗作用面设置在卷绕镀膜设备的真空室内，在清洗模块的上方接近清洗作用面的位置上设置有清洗相位；清洗作用面的上表面为内凹的弧形曲面；在清洗作用面的上表面上布置有由多列喷嘴组成的喷嘴阵列，喷嘴的朝向为清洗作用面的上表面的法向方向；移动挡板在移动机构的驱动下移至清洗相位时，清洗模块对移动挡板上的附着物进行真空环境下的清洗。

技术领域

本实用新型属于卷绕真空镀膜技术领域，特别涉及一种用于卷绕镀膜设备的清洗模块。

背景技术

在卷绕蒸发镀膜生产过程中，为防止蒸发过程中产生的高温及蒸发材料对处于镀膜主辊冷却保护范围之外的柔性薄膜造成损伤，通常在卷绕镀膜设备中设置挡板将蒸发镀膜区域和其它区域分隔开。然而，在真空镀膜工艺过程中，当启动蒸发源在柔性基膜上进行蒸发镀膜时，挡板上也同样会附着一定厚度的蒸发材料，当挡板上的附着的蒸发材料达到一定程度时就会因为内应力或冷热冲击发生脱落，造成对镀膜环境的污染，进而影响薄膜产品的质量。

为避免上述问题，一般需要对卷绕镀膜设备中的挡板进行定期清洗，或为挡板设置衬板，对衬板进行清洗。目前，在应用较多的单室卷绕镀膜机中通常采用固定挡板的设计或为固定挡板设置衬板，进行挡板或衬板清洗时，通常需要将其从设备中拆下来，采用喷砂、人工打磨或高压气体吹扫等方式在卷绕镀膜外部实施清洗，这种清洗方式费时费力，还会存在清洗不彻底、对挡板或衬板产生二次污染、损坏挡板或衬板表面造成夹气影响真空度等问题，对镀膜生产的稳定进行带来隐患。特别是在用于汽车动力电池电极层生产的高端多室卷绕真空镀膜设备中，传统的清洗方法会增加镀膜真空区域及镀膜核心部件暴露大气、受大气污染的机会，影响薄膜产品品质稳定性，且不利于高端智能化卷绕镀膜设备高度自动化生产的实施。

实用新型内容

本实用新型提供一种用于卷绕镀膜设备的清洗模块，主要包括清洗作用面和干冰供应源；清洗作用面设置在卷绕镀膜设备的真空室内，在清洗模块的上方接近清洗作用面的位置上设置有清洗相位；移动挡板在移动机构的驱动下移至清洗相位时，清洗模块对移动挡板上的附着物进行真空环境下的清洗。

清洗作用面的上表面为内凹的弧形曲面；在清洗作用面的上表面上布置有由多列喷嘴组成的喷嘴阵列，喷嘴的朝向为清洗作用面的上表面的法向方向。

在清洗作用面上与弧形曲面母线垂直的一端设置有一排吹扫喷嘴，在清洗作用面上与这排吹扫喷嘴相对的一端设置有收集槽。

在清洗作用面的四个侧边上设置有围板，使清洗模块对移动挡板进行清洗时形成一个相对独立的空间；干冰供应源设置在真空室的外部，干冰供应源与清洗作用面相连接。

清洗模块对处于清洗相位的移动挡板进行清洗时，通过喷嘴阵列向移动挡板的下表面喷射干冰颗粒进行清洗，并通过吹扫喷嘴吹出的高压气体将落在清洗作用面上的清洗产物吹扫至收集槽中收集。喷嘴阵列喷射干冰颗粒进行清洗和吹扫喷嘴吹出高压气体进行吹扫交替进行；干冰颗粒喷射速度不低于9m/s。

移动挡板处于清洗相位上时，移动挡板的下表面与清洗作用面的上表面之间的间距小于35mm。

移动机构包括导杆和驱动电机，移动挡板安装固定在可沿导杆滑动的竖直滑块上，驱动电机可驱动移动挡板做竖直方向上的移动。

本实用新型的清洗模块可对移动挡板实施在真空环境下的在线清洗，清洗效果好，清洗周期短，无二次污染，清洗成本低，更重要的是可以避免卷绕镀膜设备中的镀膜真空区域及镀膜核心部件暴露大气、受大气污染，保证了薄膜产品品质稳定性。

附图说明

图1为本实用新型的用于卷绕镀膜设备的清洗模块的结构示意图；

图2为本实用新型中的清洗作用面的俯视结构示意图。

具体实施方式