[实用新型]腔体真空度调整装置、真空腔体以及真空镀膜机

权利要求书

1.一种腔体真空度调整装置，其特征在于，包括：设于真空腔体内的百叶调节机构，以及设于真空腔体外部的驱动装置；

所述百叶调节机构安装在真空腔体的抽风口前，并固定在真空腔体内部的侧壁上；

所述驱动装置通过传动轴连接所述百叶调节机构；其中所述传动轴与真空腔体外壳之间设有密封装置；

所述驱动装置驱动所述传动轴进行转动，控制所述百叶调节机构的叶片的开合度，控制抽真空系统的抽气速度以调整真空腔体内的真空度。

2.根据权利要求1所述的腔体真空度调整装置，其特征在于，所述百叶调节机构的叶片通过连杆连接，实现统一转动方向，所述叶片开合范围由闭合到全开。

3.根据权利要求2所述的腔体真空度调整装置，其特征在于，还包括：连接所述驱动装置的控制系统，用于输出控制信号控制所述驱动装置工作，以控制所述百叶调节机构的叶片的开合度。

4.根据权利要求3所述的腔体真空度调整装置，其特征在于，所述驱动装置包括：步进电机和行星齿轮减速机；其中，所述步进电机连接所述控制系统；

所述步进电机通过所述行星齿轮减速机连接所述传动轴，向所述传动轴提供转动动力，转动所述百叶调节机构的叶片；

所述控制系统控制所述步进电机进行工作。

5.根据权利要求4所述的腔体真空度调整装置，其特征在于，所述行星齿轮减速机上安装有位置传感器，所述位置传感器连接所述控制系统；

所述位置传感器用于检测传动轴的转动是否达到限位位置，在达到限位位置时，向所述控制系统输出限位触发信号；

所述控制系统在接收到限位触发信号时，控制所述步进电机停止转动。

6.根据权利要求4所述的腔体真空度调整装置，其特征在于，所述控制系统连接真空腔体的真空度检测装置，其中，所述真空度检测装置用于检测真空腔体内的气压值；

所述控制系统依据所述气压值来控制所述步进电机进行工作，以调整所述百叶调节机构的叶片的开合度。

7.根据权利要求1所述的腔体真空度调整装置，其特征在于，所述百叶调节机构为采用铝材料制作的而成的结构。

8.根据权利要求1所述的腔体真空度调整装置，其特征在于，所述百叶调节机构的叶片数量为4-5片。

9.一种真空腔体，其特征在于，包括权利要求1-8任一项所述的腔体真空度调整装置。

10.一种真空镀膜机，其特征在于，包括权利要求9所述的真空腔体。