[实用新型]腔体真空度调整装置、真空腔体以及真空镀膜机

说明书

本申请涉及一种腔体真空度调整装置、真空腔体以及真空镀膜机；该腔体真空度调整装置，包括：设于真空腔体内的百叶调节机构，以及设于真空腔体外部的驱动装置；所述百叶调节机构安装在真空腔体的抽风口前，并固定在真空腔体内部的侧壁上；所述驱动装置通过传动轴连接所述百叶调节机构；其中所述传动轴与真空腔体外壳之间设有密封装置；所述驱动装置驱动所述传动轴进行转动，控制所述百叶调节机构的叶片的开合度，控制抽真空系统的抽气速度以调整真空腔体内的真空度；该技术方案避免了对真空腔体内部环境污染，为镀膜过程提供稳定良好的真空环境，能够明显提升真空镀膜机的镀膜质量。

技术领域

本申请涉及真空镀膜机技术领域，特别是一种腔体真空度调整装置、真空腔体以及真空镀膜机。

背景技术

真空镀膜机在镀膜工作时，需要根据不同镀膜需求来调整真空腔体内的真空度维持在一定范围内，由于抽真空系统的功率是固定的，且一直处于抽气工作中，为了调整真空腔体内的真空度，一般是向真空腔体内注入一定量气体，以调整真空腔体内的真空度不至于过低。

目前，常用的控制气体注入量的方案是通过离子源的通气管道来进行如一定量气体，但向真空腔体内注入气体会对腔体内的环境造成污染，特别是容易产生已蒸发的镀膜材料产生不良影响而导致镀膜质量不稳定的情况，从而影响了真空镀膜机的镀膜质量。

实用新型内容

基于此，有必要针对上述技术缺陷之一，提供一种腔体真空度调整装置、真空腔体以及真空镀膜机，以实现在不影响真空腔体内部环境情况下调整腔体真空度。

一种腔体真空度调整装置，包括：设于真空腔体内的百叶调节机构，以及设于真空腔体外部的驱动装置；

所述百叶调节机构安装在真空腔体的抽风口前，并固定在真空腔体内部的侧壁上；

所述驱动装置通过传动轴连接所述百叶调节机构；其中所述传动轴与真空腔体外壳之间设有密封装置；

所述驱动装置驱动所述传动轴进行转动，控制所述百叶调节机构的叶片的开合度，控制抽真空系统的抽气速度以调整真空腔体内的真空度。

在一个实施例中，所述百叶调节机构的叶片通过连杆连接，实现统一转动方向，所述叶片开合范围由闭合到全开。

在一个实施例中，所述的腔体真空度调整装置还包括：连接所述驱动装置的控制系统，用于输出控制信号控制所述驱动装置工作，以控制所述百叶调节机构的叶片的开合度。

在一个实施例中，所述驱动装置包括：步进电机和行星齿轮减速机；其中，所述步进电机连接所述控制系统；

所述步进电机通过所述行星齿轮减速机连接所述传动轴，向所述传动轴提供转动动力，转动所述百叶调节机构的叶片；

所述控制系统控制所述步进电机进行工作。

在一个实施例中，所述行星齿轮减速机上安装有位置传感器，所述位置传感器连接所述控制系统；

所述位置传感器用于检测传动轴的转动是否达到限位位置，在达到限位位置时，向所述控制系统输出限位触发信号；

所述控制系统在接收到限位触发信号时，控制所述步进电机停止转动。

在一个实施例中，所述控制系统连接真空腔体的真空度检测装置，其中，所述真空度检测装置用于检测真空腔体内的气压值；

所述控制系统依据所述气压值来控制所述步进电机进行工作，以调整所述百叶调节机构的叶片的开合度。

在一个实施例中，所述百叶调节机构为采用铝材料制作的而成的结构。

在一个实施例中，所述百叶调节机构的叶片数量为4-5片。

一种真空腔体，其特征在于，包括上述的腔体真空度调整装置。