[实用新型]一种晶圆存放盒有效

专利信息
申请号: 202121923215.2 申请日: 2021-08-16
公开(公告)号: CN216288340U 公开(公告)日: 2022-04-12
发明(设计)人: 黄晓辉;周永昌;董琪琪 申请(专利权)人: 飞锃半导体(上海)有限公司
主分类号: H01L21/673 分类号: H01L21/673
代理公司: 上海申新律师事务所 31272 代理人: 吴轶淳
地址: 200120 上海市浦东新区中国(上*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 存放
【说明书】:

实用新型属于晶圆领域,具体的说是一种晶圆存放盒,包括外壳,所述外壳的内部固定安装有防护圈,所述防护圈的两侧均固定安装有第一固定螺栓,所述外壳的内部固定安装有固定机构,所述固定机构包括固定板,所述固定板的顶部开设有限位槽,所述固定板的两侧均固定安装有卡扣;通过固定机构、固定板、限位槽、卡扣、卡槽、连接块和第二固定螺栓的配合安装,实现了便于固定晶圆的功能,在使用过程中,可通过把晶圆放置在限位槽,使得限位槽对其晶圆进行固定,而卡扣与卡槽的设置,可以对固定板进行安装和拆卸,在遇到大小不一的晶圆时,可通过拆卸卡扣而达到对固定板拆卸的目的,使其能够便于更换不同型号的固定板,提高了存放盒的使用效率。

技术领域

本实用新型涉及晶圆领域,具体是一种晶圆存放盒。

背景技术

晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片,其原始材料是硅,高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种,然后慢慢拉出,形成圆柱形的单晶硅,硅晶棒在经过研磨,抛光,切片后,形成硅晶圆片,也就是晶圆,在晶圆加工完毕后,可使用存放盒对其晶圆进行放置盒存放。

但是目前的晶圆存放盒存在不便于防护的作用,在该晶圆存放盒掉落在地上时,该晶圆存放盒内部的晶圆会容易造成损坏,因此造成使用不便,需要进行改进。

因此,针对上述问题提出一种晶圆存放盒。

实用新型内容

为了弥补现有技术的不足,解决便于防护的问题,本实用新型提出一种晶圆存放盒。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:本实用新型所述的一种晶圆存放盒,包括外壳,所述外壳的内部固定安装有防护圈,所述防护圈的两侧均固定安装有第一固定螺栓,所述外壳的内部固定安装有固定机构。

所述固定机构包括固定板,所述固定板的顶部开设有限位槽,所述固定板的两侧均固定安装有卡扣,所述卡扣的外壁固定开设有卡槽,所述卡槽的正面固定安装有连接块,所述连接块的正面固定安装有第二固定螺栓。

优选的,所述外壳的底部固定安装有底座,所述底座的数量为两个,且两个底座以外壳的垂直中线对称轴对称设置。

优选的,所述防护圈通过第一固定螺栓与外壳螺纹连接,且防护圈的直径与外壳的直径相吻合。

优选的,所述限位槽的数量为十二个,且十二个限位槽均为凹形结构。

优选的,所述固定板通过卡扣与外壳卡合连接,且卡扣为凸形结构。

优选的,所述外壳的两侧均固定安装有合页,且合页的外壁固定安装有防护门。

优选的,所述外壳的顶部固定安装有携带机构,且携带机构包括把手,且把手的两侧均固定安装有第三固定螺栓,且第三固定螺栓的底部固定安装有支撑架,所述支撑架的底部固定安装有连接杆。

优选的,所述防护门的正面固定安装有拉板,所述拉板的数量为两个,且两个拉板以防护门的垂直中线对称轴对称设置。

本实用新型的有益之处在于:

1.本实用新型通过固定机构、固定板、限位槽、卡扣、卡槽、连接块和第二固定螺栓的配合安装,实现了便于固定晶圆的功能,在使用过程中,可通过把晶圆放置在限位槽,使得限位槽对其晶圆进行固定,而卡扣与卡槽的设置,可以对固定板进行安装和拆卸,在遇到大小不一的晶圆时,可通过拆卸卡扣而达到对固定板拆卸的目的,使其能够便于更换不同型号的固定板,提高了存放盒的使用效率;

2.本实用新型通过外壳、防护圈和第一固定螺栓的结构设计,实现了便于防护外壳内部的晶圆的功能,在使用过程中,可通过第一固定螺栓对防护圈与其外壳进行固定,当存放盒掉落在地上时,该晶圆存放盒内部的晶圆会容易造成损坏,而使用防护圈对其进行防护,使得该晶圆不易损坏,解决了一般存放装置防护不好的问题,提高了存放盒的适应性。

附图说明

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