[实用新型]一种硅片加工用匀胶装置有效

专利信息
申请号: 202121932421.X 申请日: 2021-08-17
公开(公告)号: CN216296899U 公开(公告)日: 2022-04-15
发明(设计)人: 王杰 申请(专利权)人: 王杰
主分类号: B05C5/02 分类号: B05C5/02;B05C11/08;B05C11/10;B05C13/02;H01L21/56
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 300450 天津市*** 国省代码: 天津;12
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摘要:
搜索关键词: 一种 硅片 工用 装置
【权利要求书】:

1.一种硅片加工用匀胶装置,包括均胶装置本体(1)、加工台(2)和胶箱(3),所述均胶装置本体(1)的顶部固定连接有加工台(2),所述加工台(2)的顶部的一侧固定连接有胶箱(3),其特征在于:所述胶箱(3)的内腔设置有搅拌机构(4),所述加工台(2)的顶部设置有吸附机构(5);

所述搅拌机构(4)包括有加热板(41),所述加热板(41)的一侧固定连接有固定杆(42);

所述吸附机构(5)包括有加工板(53),所述加工板(53)的顶部开设有吸附孔。

2.根据权利要求1所述的一种硅片加工用匀胶装置,其特征在于:所述胶箱(3)内腔底部的两侧固定连接有一号电机(44),所述一号电机(44)的输出端固定连接有直杆(43),所述直杆(43)的两侧固定连接在固定杆(42)的一端。

3.根据权利要求1所述的一种硅片加工用匀胶装置,其特征在于:所述加热板(41)内腔的底部固定套接有水箱(411),所述水箱(411)内腔的底部固定连接有加热器(414),所述水箱(411)的内腔填充有清水,所述水箱(411)的内腔固定套接有导热管(412),所述导热管(412)的外壁延伸至加热板(41)的内腔,所述导热管(412)的外壁固定连接有水泵(413),所述导热管(412)的一端固定连接在水箱(411)顶部的一侧。

4.根据权利要求1所述的一种硅片加工用匀胶装置,其特征在于:所述加工台(2)的顶部开设有喷胶槽(51),所述喷胶槽(51)内腔的底部固定连接有二号电机(52),所述二号电机(52)的输出端固定连接在加工板(53)的底部,所述加工板(53)的外壁活动套接在喷胶槽(51)的内腔。

5.根据权利要求1所述的一种硅片加工用匀胶装置,其特征在于:所述加工板(53)内腔的底部固定连接有真空泵(531),所述真空泵(531)的顶部固定连接有吸罩(532),所述吸罩(532)的顶部固定连接在加工板(53)内腔的顶部,所述加工板(53)的顶部位于吸附孔的下方。

6.根据权利要求5所述的一种硅片加工用匀胶装置,其特征在于:所述吸罩(532)的内腔固定套接有过滤网(533),所述过滤网(533)的顶部固定连接有过滤棉(534)。

7.根据权利要求1所述的一种硅片加工用匀胶装置,其特征在于:所述胶箱(3)的内腔固定套接有导胶管(6),所述导胶管(6)的一端延伸至吸附机构(5)的上方且固定连接有软性调节管(8),所述软性调节管(8)的一端固定连接有喷头(9),所述导胶管(6)的外壁固定连接有吸力泵(7),所述导胶管(6)的外壁固定套接有固定板(10),所述固定板(10)的底部固定连接有液压杆(11),所述液压杆(11)的一端固定连接在喷头(9)的顶部。

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