[实用新型]一种单晶硅炉石墨材料底部加热装置有效
申请号: | 202121935617.4 | 申请日: | 2021-08-18 |
公开(公告)号: | CN216523127U | 公开(公告)日: | 2022-05-13 |
发明(设计)人: | 王通;刘智勇;张勇;陈磊;王进 | 申请(专利权)人: | 黄骅云翔特种石墨有限公司 |
主分类号: | F27D11/10 | 分类号: | F27D11/10 |
代理公司: | 北京百裕知识产权代理事务所(普通合伙) 11953 | 代理人: | 马英迪 |
地址: | 061000 河北省沧*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 单晶硅 石墨 材料 底部 加热 装置 | ||
1.一种单晶硅炉石墨材料底部加热装置,包括加热装置本体,其特征在于:所述加热装置本体包括石墨柱(1)、石墨顶板(2)、石墨底板(3)和防护网(4),所述石墨柱(1)的顶端开设有螺纹孔二(10),所述石墨柱(1)的顶端安装有石墨顶板(2),所述石墨顶板(2)的表面开设有螺纹孔一(9),所述石墨柱(1)的底端安装有石墨底板(3),所述石墨底板(3)的表面开设有螺纹孔三(11),所述石墨顶板(2)的两端分别设置有正电极块(6)和负电极块(13),所述正电极块(6)和负电极块(13)的一侧均设置有绝缘杆(5),所述绝缘杆(5)的底端连接有支架(12),所述支架(12)的底端安装有防护网(4),所述防护网(4)的底端安装有支撑脚(8)。
2.根据权利要求1所述的一种单晶硅炉石墨材料底部加热装置,其特征在于:所述石墨顶板(2)通过螺栓(7)依次穿过螺纹孔一(9)和螺纹孔二(10)与石墨柱(1)的顶端固定连接,所述石墨底板(3)通过螺栓(7)穿过螺纹孔三(11)固定安装在石墨柱(1)的底端位置。
3.根据权利要求1所述的一种单晶硅炉石墨材料底部加热装置,其特征在于:所述石墨柱(1)通过石墨顶板(2)和石墨底板(3)交错安装形成迂回结构。
4.根据权利要求1所述的一种单晶硅炉石墨材料底部加热装置,其特征在于:所述石墨柱(1)设置有十六根,且整体围成柱状结构。
5.根据权利要求1所述的一种单晶硅炉石墨材料底部加热装置,其特征在于:所述正电极块(6)和负电极块(13)以对称的形式安装在石墨柱(1)的两侧。
6.根据权利要求1所述的一种单晶硅炉石墨材料底部加热装置,其特征在于:所述防护网(4)的内壁与石墨底板(3)和石墨柱(1)之间均设置有间隔,所述石墨底板(3)整体呈扇形结构。
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