[实用新型]一种单晶硅炉石墨材料底部加热装置

说明书

本实用新型提供一种单晶硅炉石墨材料底部加热装置，包括加热装置本体，所述加热装置本体包括石墨柱、石墨顶板、石墨底板和防护网，所述石墨柱的顶端开设有螺纹孔二，所述石墨柱的顶端安装有石墨顶板，所述石墨顶板的表面开设有螺纹孔一，所述石墨柱的底端安装有石墨底板，所述石墨底板的表面开设有螺纹孔三，所述石墨顶板的两端分别设置有正电极块和负电极块，所述正电极块和负电极块的一侧均设置有绝缘杆，所述绝缘杆的底端连接有支架，所述支架的底端安装有防护网，所述防护网的底端安装有支撑脚，该单晶硅炉石墨材料底部加热装置可拆装组合，后期损坏维修成本低，通透性强，加热效果好。

技术领域

本实用新型涉及石墨材料加热装置技术领域，具体为一种单晶硅炉石墨材料底部加热装置。

背景技术

在大尺寸单晶硅生产中，为了提高热场的均匀性，缩短化料时间，解决热场控制难和熔硅再结晶的问题，通常会在原有的环形加热器的基础上增加底部加热器。

现有的石墨材料加热装置在制造过程中由于需要设计成较长的回路结构，从而会浪费大量的材料，增加了加工时间及生产成本，而且切削下来的大量石墨粉只能作为废物处理，还会造成环境污染，且一旦受损就需要全部更换，修复成本较高。

另一方面，现有的石墨材料加热装置底端通透性较差，与底面的间隙较小，从而影响了空气的流通，降低了加热时的效果。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型目的是提供一种单晶硅炉石墨材料底部加热装置，以解决上述背景技术中提出的问题,本实用新型可拆装组合，后期损坏维修成本低，通透性强，加热效果好。

为了实现上述目的，本实用新型是通过如下的技术方案来实现：一种单晶硅炉石墨材料底部加热装置，包括加热装置本体，所述加热装置本体包括石墨柱、石墨顶板、石墨底板和防护网，所述石墨柱的顶端开设有螺纹孔二，所述石墨柱的顶端安装有石墨顶板，所述石墨顶板的表面开设有螺纹孔一，所述石墨柱的底端安装有石墨底板，所述石墨底板的表面开设有螺纹孔三，所述石墨顶板的两端分别设置有正电极块和负电极块，所述正电极块和负电极块的一侧均设置有绝缘杆，所述绝缘杆的底端连接有支架，所述支架的底端安装有防护网，所述防护网的底端安装有支撑脚。

作为本实用新型的一种优选实施方式，所述石墨顶板通过螺栓依次穿过螺纹孔一和螺纹孔二与石墨柱的顶端固定连接，所述石墨底板通过螺栓穿过螺纹孔三固定安装在石墨柱的底端位置。

作为本实用新型的一种优选实施方式，所述石墨柱通过石墨顶板和石墨底板交错安装形成迂回结构。

作为本实用新型的一种优选实施方式，所述石墨柱设置有十六根，且整体围成柱状结构。

作为本实用新型的一种优选实施方式，所述正电极块和负电极块以对称的形式安装在石墨柱的两侧。

作为本实用新型的一种优选实施方式，所述防护网的内壁与石墨底板和石墨柱之间均设置有间隔，所述石墨底板整体呈扇形结构。

本实用新型的有益效果：本实用新型的一种单晶硅炉石墨材料底部加热装置，包括加热装置本体，所述加热装置本体包括石墨柱、石墨顶板、石墨底板、防护网、绝缘杆、正电极块、螺栓、支撑脚、螺纹孔一、螺纹孔二、螺纹孔三、支架、负电极块。

1.该单晶硅炉石墨材料底部加热装置使用石墨顶板和石墨底板将石墨柱进行连接组成石墨加热器回路，通过螺栓将其连接为整体，将单晶硅炉放置在中间接通电源后即可加热使用，模块化结构可以在遇到损坏时只对损坏部件进行更换即可，降低了损坏后的维修成本。

2.该单晶硅炉石墨材料底部加热装置的石墨底板部分设置有向内延伸的锥形角，用以对单晶硅炉进行支撑，且形成镂空效果，增加空气流通的效率。