[实用新型]一种薄膜厚度测试治具

说明书

本实用新型公开了一种薄膜厚度测试治具，包含：下托片，用于承载薄膜；上托片，用于覆盖在薄膜上方，设有若干条第一刻度线，所述的第一刻度线将上托片分为若干区域；下托片与上托片均透明或半透明；固定装置，用于固定测试状态下所述上托片和所述下托片的相对位置，使两块托片不发生相对滑动。该治具能够在不损伤薄膜的情况下，精确测定薄膜厚度，并且能对薄膜的不同区域的厚度进行精确测定，以比较薄膜不同区域和不同薄膜之间的厚度的一致性。

技术领域

本实用新型涉及燃料电池技术领域，主要涉及一种薄膜厚度测试治具。

背景技术

薄膜在生产生活中的应用非常广泛。在实际应用中，对于部分薄膜，需要在避免对薄膜造成磨损的情况下，对薄膜各区域的厚度进行测定。

在燃料电池领域，其核心发电单元为膜电极。膜电极包括质子膜及其膜上两侧涂布催化剂形成的催化层，涂布催化剂多为贵金属及其合金，或与碳的复合物，包括但不限于如Pt、Pt/C、Ir、Ru等，质子膜的厚度一般为5～130μm，每一侧的催化层的厚度为3～100μm，涂布完成的成品称为CCM。一般对于厚度有较高的要求，需要知道涂布厚度是否满足设计要求和厚度的一致性(包括每个CCM不同区域厚度的一致性以及不同CCM之间厚度的一致性)。因此，厚度的测试非常重要。

目前的测试方法一般采用直接接触。非接触式测厚则一般采用激光、X光等，也会因为质子膜柔软较难铺平，产生较大误差；而且这些非接触式测厚设备本身成本很高。

然而由于CCM本身质地柔软，使得测厚操作困难；同时表面涂布的催化层很容易在操作中造成损伤、脱落；接触式的厚度测试很容易损伤催化层。而且，CCM为黑色，在厚度测试中较难标记位置。涂布过程中的质量抽检或者产品下线检测时，迫切需要一种能够辅助可靠检测的工具，便于精确测定不同区域的涂层厚度以及不同CCM的涂层厚度，并且不造成损伤。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种薄膜厚度测试治具，用以测定薄膜厚度，并且能用于比较薄膜不同区域和不同薄膜之间的厚度的一致性。

为了达到上述目的，本实用新型提供了一种薄膜厚度测试治具，所述的薄膜厚度测试治具包含：下托片，用于承载薄膜；上托片，用于覆盖在薄膜上方，设有若干条第一刻度线，所述的第一刻度线将上托片分为若干区域；下托片与上托片均透明或半透明；固定装置，用于固定测试状态下所述上托片和所述下托片的相对位置，使两块托片不发生相对滑动。

较佳地，所述的下托片设有第二刻度线，测试厚度时，所述第二刻度线的位置与所述第一刻度线的投影位置重合。

较佳地，所述的若干条第一刻度线分别沿上托片的长度方向和宽度方向设置，构成若干行列。

较佳地，所述的刻度线中的首行和首列上均设有刻度值。

较佳地，所述的上托片和下托片的厚度均为1μm～10mm。

较佳地，所述的上托片和下托片其自身各区域的厚度差在10μm以内。

较佳地，所述的固定装置选取磁铁、胶带、夹子中的任意一种或多种，在上、下托片边缘位置定位。

较佳地，所述的固定装置包含工艺孔。

较佳地，所述的上托片和下托片的长度和宽度尺寸完全相同，分别大于所测量的薄膜的长度和宽度尺寸。

本实用新型的技术效果包含：能够在不损伤薄膜的情况下，精确测定薄膜厚度，并且能对薄膜的不同区域的厚度进行精确测定，以比较薄膜不同区域和不同薄膜之间的厚度的一致性。

附图说明

图1为本实用新型的薄膜测试治具分解示意图；

图2为本实用新型的上托片表面示意图；

图3为本实用新型的下托片表面示意图；