[实用新型]一种晶圆检查机送料装置

权利要求书

1.一种晶圆检查机送料装置，包括架体(1)，其特征在于：所述架体(1)上安装有侧板(2)，所述侧板(2)上设有升降槽(3)，所述升降槽(3)内安装有螺纹杆(4)和滑块(5)，所述滑块(5)套设在螺纹杆(4)上，所述滑块(5)上安装有挡板(6)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆检查机送料装置，其特征在于：所述架体(1)上安装有传动辊(7)和电机(8)，电机(8)的转轴上安装有传动辊(7)，传动辊(7)之间通过输送带(9)传动连接。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆检查机送料装置，其特征在于：所述螺纹杆(4)上安装有链轮(10)，链轮(10)之间通过链条(11)传动连接。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆检查机送料装置，其特征在于：所述滑块(5)和挡板(6)的下端在同一水平面内。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆检查机送料装置，其特征在于：所述升降槽(3)的槽口处设有刻度线(12)，所述滑块(5)的下端安装有标尺(13)。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆检查机送料装置，其特征在于：所述侧板(2)上设有安装槽(14)，安装槽(14)内安装有阻尼轴(15)，阻尼轴(15)上安装有挡杆(16)。