[实用新型]一种晶圆检查机送料装置

说明书

本实用新型公开了一种晶圆检查机送料装置，包括架体，所述架体上安装有侧板，所述侧板上设有升降槽，所述升降槽内安装有螺纹杆和滑块，所述滑块套设在螺纹杆上，所述滑块上安装有挡板。根据刻度线控制挡板的与输送带之间的距离，使得挡板能够根据不同厚度的晶圆进行调节，从而使挡板能够挡住堆积的晶圆，避免出现晶圆堆积导致堆积的晶圆漏掉检查的情况，能够根据不同大小的晶圆控制挡杆的角度，使得输送带上的晶圆一个一个的从挡杆之间送出，这不仅能够降低工人的劳动强度，而且能够提高晶圆的送料效率。

技术领域

本实用新型属于晶圆检查机技术领域，具体为一种晶圆检查机送料装置。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品。晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅，其纯度高达99.999999999％。

目前，由于晶圆在检查时是有检查设备一个一个进行检查，因此晶圆在送料时需要手动将晶圆一个一个进行上料输送，这不仅增加工人的劳动强度，而且送料效率低。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆检查机送料装置，以解决需要手动将晶圆一个一个进行上料输送，这不仅增加工人的劳动强度，而且送料效率低的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆检查机送料装置，包括架体，所述架体上安装有侧板，所述侧板上设有升降槽，所述升降槽内安装有螺纹杆和滑块，所述滑块套设在螺纹杆上，所述滑块上安装有挡板。

优选的，所述架体上安装有传动辊和电机，电机的转轴上安装有传动辊，传动辊之间通过输送带传动连接。

优选的，所述螺纹杆上安装有链轮，链轮之间通过链条传动连接，通过链轮和链条传动，能够控制两个滑块同步进行升降，从而控制挡板稳步进行升降。

优选的，所述滑块和挡板的下端在同一水平面内，便于通过滑块确定挡板的高度。

优选的，所述升降槽的槽口处设有刻度线，所述滑块的下端安装有标尺，标尺和滑块的下端位于同一水平面内，使得标尺标记刻度线，能够确定挡板与输送带之间的距离。

优选的，所述侧板上设有安装槽，安装槽内安装有阻尼轴，安装槽的内壁上设有阻尼孔，阻尼轴安装在阻尼孔内，通过阻尼轴与阻尼孔内壁之间的阻尼力能够对挡杆的角度进行固定，阻尼轴上安装有挡杆。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：根据刻度线控制挡板的与输送带之间的距离，使得挡板能够根据不同厚度的晶圆进行调节，从而使挡板能够挡住堆积的晶圆，避免出现晶圆堆积导致堆积的晶圆漏掉检查的情况，能够根据不同大小的晶圆控制挡杆的角度，使得输送带上的晶圆一个一个的从挡杆之间送出，这不仅能够降低工人的劳动强度，而且能够提高晶圆的送料效率。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构主视图；

图2为本实用新型的整体结构侧视截面图；

图3为本实用新型的整体结构俯视图。

图中：1架体、2侧板、3升降槽、4螺纹杆、5滑块、6挡板、7传动辊、8电机、9输送带、10链轮、11链条、12刻度线、13标尺、14安装槽、15阻尼轴、16挡杆。

具体实施方式

请参阅图1、图2，一种晶圆检查机送料装置，包括架体1，架体1上通过螺钉安装有侧板2，侧板2上设有升降槽3，升降槽3内滑动安装有滑块5，升降槽3内通过轴承安装有螺纹杆4，滑块5套设在螺纹杆4上，滑块5上设有螺纹孔，螺纹杆4通过螺纹安装在螺纹孔内，滑块5上通过螺钉安装有挡板6。