[实用新型]基于光学衍射的薄膜均匀性检测系统

权利要求书

1.一种基于光学衍射的薄膜均匀性检测系统，其特征在于，包括成像单元、采集单元、处理单元、存储单元、控制单元；采集单元的输出端连接处理单元的输入端，处理单元的输出端连接存储单元，控制单元分别与成像单元、采集单元、处理单元相互连接；

所述成像单元用于产生衍射光条纹图像，依次包括光源、滤光片和滚筒，光源发出光线经过滤光片来进行光源光强和波长调节，再经过滚筒和安放在载物台上的滚轮之间的缝隙得到衍射光条纹图像；所述采集单元包括载物台、多个线阵相机，载物台上薄膜被测区域形成的条纹图像反射到对应的线阵相机。

2.根据权利要求1所述的基于光学衍射的薄膜均匀性检测系统，其特征在于，所述滚筒上安放有作为参考基准的薄膜样本，通过所述滚筒上的薄膜样本和所述载物台滚轮上的待检测薄膜的同步移动，获得薄膜被测区域上的衍射条纹图像。

3.根据权利要求1或2所述的基于光学衍射的薄膜均匀性检测系统，其特征在于，所述滚筒设置在与载物台位置相对的第一滑动导轨上，且所述滚筒和载物台上滚轮的中心位于同一轴线上。

4.根据权利要求1所述的基于光学衍射的薄膜均匀性检测系统，其特征在于，所述滤光片包括多个带通滤光片。

5.根据权利要求1所述的基于光学衍射的薄膜均匀性检测系统，其特征在于，所述采集单元还包括第二滑动导轨，所述载物台位于第二滑动导轨上。

6.根据权利要求1或5所述的基于光学衍射的薄膜均匀性检测系统，其特征在于，所述载物台上设置有滚轮，滚轮上承载有待检测薄膜，配合外置的薄膜传送系统实现待检测薄膜的高精度成像。

7.根据权利要求1或5所述的基于光学衍射的薄膜均匀性检测系统，其特征在于，所述载物台在起始位置和终点位置分别安装有起始位置传感器和终点位置传感器。

8.根据权利要求1所述的基于光学衍射的薄膜均匀性检测系统，其特征在于，所述线阵相机采用线阵CCD相机或/和CMOS相机。

9.根据权利要求1所述的基于光学衍射的薄膜均匀性检测系统，其特征在于，所述存储单元的输出端还连接有显示单元，所述显示单元采用手机、平板、电脑中的一种或多种。

10.根据权利要求1所述的基于光学衍射的薄膜均匀性检测系统，其特征在于，所述存储单元的输出端还连接有执行单元，所述执行单元包括报警器、语音播放器。