[实用新型]基于光学衍射的薄膜均匀性检测系统有效

专利信息
申请号: 202121962899.7 申请日: 2021-08-19
公开(公告)号: CN215865741U 公开(公告)日: 2022-02-18
发明(设计)人: 董俊;马冬;何俊明;马凡;徐盼盼;姜铭坤;黄小文 申请(专利权)人: 中国科学院合肥物质科学研究院;安徽中科德技智能科技有限公司
主分类号: G01M11/02 分类号: G01M11/02
代理公司: 合肥市上嘉专利代理事务所(普通合伙) 34125 代理人: 李璐
地址: 230031 安徽*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 基于 光学 衍射 薄膜 均匀 检测 系统
【说明书】:

本实用新型公开了一种基于光学衍射的薄膜均匀性检测系统,包括成像单元、采集单元、处理单元、存储单元、控制单元;采集单元的输出端连接处理单元的输入端,处理单元的输出端连接存储单元,控制单元分别与成像单元、采集单元、处理单元相互连接;所述成像单元用于产生衍射光条纹图像,依次包括光源、滤光片和滚筒,光源发出光线经过滤光片来进行光源光强和波长调节,再经过滚筒和安放在载物台上的滚轮之间的缝隙得到衍射光条纹图像;所述采集单元包括载物台、多个线阵相机,载物台上薄膜被测区域形成的条纹图像反射到对应的线阵相机。本实用新型能够满足柔性薄膜均匀性检测所需的图像质量要求,实现薄膜表面的均匀性检测。

技术领域

本实用新型涉及薄膜均匀性检测技术领域,特别是涉及一种基于光学衍射的薄膜均匀性检测系统。

背景技术

薄膜广泛应用于液晶电视、平板电脑、智能手机、车载显示屏等领域,受生产工艺或生产环境等条件的限制,薄膜在生产过程中容易产生质量缺陷,主要表现在厚度不均匀、表面出现划痕、内部产生气泡,或薄膜内部掺入杂质、尘埃等,因此,薄膜均匀性检测成为薄膜类材料生产质量控制的重要一环。

传统的检测一般由有经验的检测人员目测和简单测量来实现,检测结果缺乏可靠性以及精确性,无法量化评价且难以进行长时间的观测。

因此亟需提供一种新型的基于光学衍射的薄膜均匀性检测系统来解决上述问题。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种基于光学衍射的薄膜均匀性检测系统,能够实现表面反光的柔性薄膜均匀性检测。

为解决上述技术问题,本实用新型采用的一个技术方案是:提供一种基于光学衍射的薄膜均匀性检测系统,包括成像单元、采集单元、处理单元、存储单元、控制单元;采集单元的输出端连接处理单元的输入端,处理单元的输出端连接存储单元,控制单元分别与成像单元、采集单元、处理单元相互连接;

所述成像单元用于产生衍射光条纹图像,依次包括光源、滤光片和滚筒,光源发出光线经过滤光片来进行光源光强和波长调节,再经过滚筒和安放在载物台上的滚轮之间的缝隙得到衍射光条纹图像;所述采集单元包括载物台、多个线阵相机,载物台上薄膜被测区域形成的条纹图像反射到对应的线阵相机。

在本实用新型一个较佳实施例中,所述滚筒上安放有作为参考基准的薄膜样本,通过所述滚筒上的薄膜样本和所述载物台滚轮上的待检测薄膜的同步移动,获得薄膜被测区域上的衍射条纹图像。

进一步的,所述滚筒设置在与载物台位置相对的第一滑动导轨上,且所述滚筒和载物台上滚轮的中心位于同一轴线上。

在本实用新型一个较佳实施例中,所述滤光片包括多个带通滤光片。

在本实用新型一个较佳实施例中,所述采集单元还包括第二滑动导轨,所述载物台位于第二滑动导轨上。

进一步的,所述载物台上设置有滚轮,滚轮上承载有待检测薄膜,配合外置的薄膜传送系统实现待检测薄膜的高精度成像。

进一步的,所述载物台在起始位置和终点位置分别安装有起始位置传感器和终点位置传感器。

在本实用新型一个较佳实施例中,所述线阵相机采用线阵CCD相机或/和CMOS相机。

在本实用新型一个较佳实施例中,所述存储单元的输出端还连接有显示单元,所述显示单元采用手机、平板、电脑中的一种或多种。

在本实用新型一个较佳实施例中,所述存储单元的输出端还连接有执行单元,所述执行单元包括报警器、语音播放器。

本实用新型的有益效果是:

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