[实用新型]一种用于单晶硅晶圆拉制的石英保温盖板有效
| 申请号： | 202121979836.2 | 申请日： | 2021-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN216107314U | 公开（公告）日： | 2022-03-22 |
| 发明（设计）人： | 英浩 | 申请（专利权）人： | 连云港保康石英制品有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 222313 江苏省连云港市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 单晶硅 拉制 石英 保温 盖板 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于单晶硅晶圆拉制的石英保温盖板，包括石英盖板(1)、不锈钢杆套(2)和隔层框(3)，其特征在于：所述石英盖板(1)由下石英板(4)、上石英板(5)、透明隔热层(6)和隔层框(3)组成，所述石英盖板(1)内部设置有不锈钢杆套(2)，所述不锈钢杆套(2)由螺栓管(8)和对接套(9)组成。
2.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅晶圆拉制的石英保温盖板，其特征在于：所述上石英板(5)位于下石英板(4)顶部，所述下石英板(4)和上石英板(5)之间胶合有隔层框(3)，所述隔层框(3)内部填充有透明隔热层(6)，所述透明隔热层(6)为气凝胶材料制成。
3.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅晶圆拉制的石英保温盖板，其特征在于：所述对接套(9)通过螺纹槽连接于螺栓管(8)底部。
4.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅晶圆拉制的石英保温盖板，其特征在于：所述下石英板(4)底部开设有防滑齿(10)。
5.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅晶圆拉制的石英保温盖板，其特征在于：所述隔层框(3)、下石英板(4)和上石英板(5)外侧均开设有预留孔(7)。
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