[实用新型]一种用于单晶硅晶圆拉制的石英保温盖板

说明书

本实用新型公开了一种用于单晶硅晶圆拉制的石英保温盖板，包括石英盖板、不锈钢杆套和隔层框，所述石英盖板由下石英板、上石英板、透明隔热层和隔层框组成，所述石英盖板内部设置有不锈钢杆套，所述不锈钢杆套由螺栓管和对接套组成。本实用新型采用双层石英板设计，隔音、隔热效果好，且中间填充有气凝胶材料制成透明隔热层，可以提高石英盖板的隔热能力，同时对螺纹孔进行加强，安装时石英盖板不易开裂。

技术领域

本实用新型涉及石英盖板技术领域，特别涉及一种用于单晶硅晶圆拉制的石英保温盖板。

背景技术

单晶硅片：硅的单晶体，是一种具有基本完整的点阵结构的晶体，不同的方向具有不同的性质，是一种良好的半导材料，纯度要求达到99.9999％，甚至达到99.9999999％以上，用于制造半导体器件、太阳能电池等，用高纯度的多晶硅在单晶炉内拉制而成。

单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备，石英盖板是单晶炉上重要的配件，容易密封、阻挡炉内热量流出，且方便人员观察炉内情况。

现有的一种用于单晶硅晶圆拉制的石英保温盖板不足之处在于：1、整体结构简单，采用单一的石英材料制成，保温效果差； 2、强度较低，安装时螺栓拧的较紧，容易导致石英盖板破裂。为此，我们提出一种用于单晶硅晶圆拉制的石英保温盖板。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种用于单晶硅晶圆拉制的石英保温盖板，可以有效解决背景技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：

一种用于单晶硅晶圆拉制的石英保温盖板，包括石英盖板、不锈钢杆套和隔层框，所述石英盖板由下石英板、上石英板、透明隔热层和隔层框组成，所述石英盖板内部设置有不锈钢杆套，所述不锈钢杆套由螺栓管和对接套组成。

进一步地，所述上石英板位于下石英板顶部，所述下石英板和上石英板之间胶合有隔层框，所述隔层框内部填充有透明隔热层，所述透明隔热层为气凝胶材料制成。

进一步地，所述对接套通过螺纹槽连接于螺栓管底部。

进一步地，所述下石英板底部开设有防滑齿；防滑齿可以压在石英盖板与单晶炉之间的密封圈上，使密封圈不易移位。

进一步地，所述隔层框、下石英板和上石英板外侧均开设有预留孔；预留孔方便螺栓管和对接套插入。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

1、通过设置下石英板、隔层框、上石英板和透明隔热层，下石英板和上石英板之间夹持有隔层框，隔层框内部填充有气凝胶材料制成的透明隔热层，双重石英盖板设计，隔音、隔热效果好，气凝胶材料制成的透明隔热层，可以提高石英盖板的隔热能力，同时不会影响人员炉体内部。

2、通过设置螺栓管、对接套和预留孔，人员将螺栓管插入预留孔内，并将螺栓管放在下石英板上的预留孔内，转动螺栓管与螺栓管对接、固定，可以将胶合在一起的下石英板、隔层框和上石英板进行固定，在安装石英盖板时，将组合后的石英盖板放入单晶炉上，将螺栓插入螺栓管内并拧动，从而将石英盖板固定在单晶炉上，螺栓管和对接套组成的不锈钢杆套可以对石英盖板进行保护，使其不易受到压迫，从而避免其开裂。

附图说明

图1为本实用新型一种用于单晶硅晶圆拉制的石英保温盖板的整体结构示意图。

图2为本实用新型一种用于单晶硅晶圆拉制的石英保温盖板的爆炸图。

图3为本实用新型一种用于单晶硅晶圆拉制的石英保温盖板的不锈钢杆套结构示意图。

图4为本实用新型一种用于单晶硅晶圆拉制的石英保温盖板的下石英板底部结构示意图。