[实用新型]蒸镀设备

说明书

本申请实施例公开了一种蒸镀设备，包括：蒸镀腔体、蒸镀源、蒸镀锅和分流板；蒸镀源，设置在所述蒸镀腔体的底部，用于将蒸镀材料转化成气体分子蒸镀材料；至少两个所述蒸镀锅设置在所述蒸镀源的上方；以所述蒸镀源的顶面为基准面，所述分流板设置的高度，低于至少两个所述蒸镀锅的最高点的高度，高于所述基准面；其中，所述蒸镀腔体中能被至少两个所述蒸镀锅覆盖的区域为有效蒸镀区域，不能被至少两个所述蒸镀锅覆盖的区域为无效蒸镀区域；所述分流板对应所述无效蒸镀区域设置，所述分流板将所述无效蒸镀区域的气体分子蒸镀材料分流至所述有效蒸镀区域。本申请以此减少了蒸镀材料的浪费。

技术领域

本申请涉及蒸镀技术领域，尤其涉及一种蒸镀设备。

背景技术

蒸镀，属于一种物理沉积，是通过某种方式将蒸镀材料转化为气体分子蒸镀材料，气体分子蒸镀材料在真空环境中运动附着在待蒸镀物表面，从而在待蒸镀物表面形成薄膜的过程。

蒸镀设备的蒸镀锅用于放置和固定待蒸镀物，待蒸镀物比如晶圆。现有的蒸镀设备在加工待蒸镀物时，从蒸镀源出来的气体分子蒸镀材料，具有中间浓度大而集中、周围相对浓度小而分散的特点，但是为了保证蒸镀的均匀性，蒸镀锅一般设置在周围相对浓度小而分散的区域，中间浓度大而集中一般没有设置蒸镀锅，从而会造成蒸镀材料的浪费。

实用新型内容

本申请实施例的目的是提供一种蒸镀设备，用于减少蒸镀材料的浪费。

为了实现上述目的，本申请实施例提供了一种蒸镀设备，包括：蒸镀腔体、蒸镀源、蒸镀锅和分流板；蒸镀源，设置在所述蒸镀腔体的底部，用于将蒸镀材料转化成气体分子蒸镀材料；至少两个所述蒸镀锅设置在所述蒸镀源的上方；以所述蒸镀源的顶面为基准面，所述分流板设置的高度，低于至少两个所述蒸镀锅的最高点的高度，高于所述基准面；其中，所述蒸镀腔体中能被至少两个所述蒸镀锅覆盖的区域为有效蒸镀区域，不能被至少两个所述蒸镀锅覆盖的区域为无效蒸镀区域；所述分流板对应所述无效蒸镀区域设置，所述分流板将所述无效蒸镀区域的气体分子蒸镀材料分流至所述有效蒸镀区域。

可选地，所述蒸镀源的中心和所述分流板的中心在同一竖直线上；所述蒸镀锅的数量为三个，三个所述蒸镀锅围绕所述竖直线呈圆周均匀分布；其中，三个所述蒸镀锅围绕所述竖直线进行公转。

可选地，所述蒸镀锅倾斜设置，所述蒸镀锅的蒸镀面朝向所述蒸镀源。

可选地，设所述分流板的设置高度为h；所述分流板的宽度为d；其中，d＝K*h；所述K为固定值。

可选地，设所述分流板的设置高度为h；所述蒸镀锅的最高点的高度为H；其中，所述h＝H*X；所述X＝50-70％。

可选地，所述分流板的导流面为凸面，所述凸面朝向所述蒸镀源；其中，所述凸面为弧形或锥形。

可选地，所述分流板的导流面为平面，所述平面与水平面具有预设角度，所述预设角度的范围为0至30度。

可选地，所述分流板开设有多个通孔；多个所述通孔在所述分流板上设置的密度自中心向外依次变大；其中，所述通孔的形状包括圆形、角形、条形至少之一。

可选地，所述蒸镀设备还包括：固定座，设置在所述蒸镀腔体的内侧壁上；以及连接件，用于连接所述分流板和所述固定座。

可选地，所述蒸镀设备包括杆件，所述杆件与所述分流板连接，所述杆件用于调节所述分流板设置的高度。

上述技术方案，针对现有蒸镀设备存在无效蒸镀区域的问题，其中无效蒸镀区域指的是蒸镀腔体内不能被多个蒸镀锅覆盖的区域。本申请实施例提供的蒸镀设备，通过对应无效蒸镀区域设置分流板，对气体分子蒸镀材料起到分流作用，从而将原本会运动无效蒸镀区域的气体分子蒸镀材料分流至周围有效蒸镀区域，减少了蒸镀材料浪费，在一定程度上节约了蒸镀材料。另外，还能够使有效蒸镀区域的气体分子蒸镀材料浓度增大，以提高蒸镀效率。

附图说明