[实用新型]蒸镀装置以及蒸镀设备有效
| 申请号： | 202122005329.5 | 申请日： | 2021-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN215440660U | 公开（公告）日： | 2022-01-07 |
| 发明（设计）人： | 赵利;孙玉群;孙军旗;刘芳军;徐赛赛;鲁艳春 | 申请（专利权）人： | 北海惠科半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/50;C23C14/54 |
| 代理公司： | 深圳市百瑞专利商标事务所(普通合伙) 44240 | 代理人： | 邢涛 |
| 地址： | 536000 广西壮族自治区北海市工业园区北*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 装置 以及 设备 | ||
1.一种蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置包括：
蒸镀腔体；
蒸镀源，设置在所述蒸镀腔体的底部；
行星锅，用于放置第一晶圆，所述行星锅设置有多个，多个所述行星锅设置在所述蒸镀源的上方；其中，多个所述行星锅绕一竖直线公转，所述竖直线穿过所述蒸镀源；以及
中心锅，用于放置第二晶圆，所述中心锅设置在所述蒸镀源的上方，所述竖直线穿过所述中心锅。
2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述中心锅绕所述竖直线自转。
3.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置包括驱动装置，所述驱动装置包括：
驱动主轴，所述驱动主轴连接于所述中心锅的非蒸镀面，用于驱动所述中心锅自转；
驱动支架，所述驱动支架为多个；其中，多个所述驱动支架的一端连接于所述驱动主轴；多个所述驱动支架的另一端分别连接多个所述行星锅，所述驱动支架用于驱动所述行星锅公转；以及
发动机，所述发动机用于提供机械能给所述驱动主轴和所述驱动支架。
4.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，所述中心锅的自转方向和所述行星锅的公转方向相反。
5.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置还包括连接杆，所述连接杆用于调节所述中心锅的高度，所述连接杆连接所述中心锅和所述蒸镀腔体。
6.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，以所述蒸镀源所在水平面为基准面，所述中心锅与所述基准面的距离大于所述行星锅最高点与所述基准面的距离；所述中心锅的半径大于所述行星锅与所述竖直线的最小距离。
7.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述行星锅倾斜设置，所述行星锅的蒸镀面朝向所述蒸镀源。
8.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述竖直线穿过所述中心锅的中心以及所述蒸镀源的中心。
9.根据权利要求1至8任一项所述的蒸镀装置，其特征在于，所述中心锅的蒸镀面为平面或凹面。
10.一种蒸镀设备，其特征在于，包括上述权利要求1至9任意一项所述的蒸镀装置。
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