[实用新型]探针卡、检测装置及晶圆的检测装置有效
申请号: | 202122005544.5 | 申请日: | 2021-08-24 |
公开(公告)号: | CN215866990U | 公开(公告)日: | 2022-02-18 |
发明(设计)人: | 宋慧;王国峰 | 申请(专利权)人: | 北海惠科半导体科技有限公司 |
主分类号: | G01R31/28 | 分类号: | G01R31/28;G01R1/04;G01R1/073 |
代理公司: | 深圳市百瑞专利商标事务所(普通合伙) 44240 | 代理人: | 邢涛 |
地址: | 536000 广西壮族自治区北海市工业园区北*** | 国省代码: | 广西;45 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 探针 检测 装置 | ||
1.一种探针卡,用于检测待检测产品的待检测部,其特征在于,包括探针卡本体;
所述探针卡本体上设置有至少一个探针组;
所述探针组包括至少两个探针,一个所述探针组内所有的所述探针用于检测一所述待检测部,一个所述探针组内不同的所述探针之间的间距可调。
2.根据权利要求1所述的一种探针卡,其特征在于,所述探针卡本体上设置有至少两个所述探针组,不同的所述探针组之间的距离可调。
3.根据权利要求1或2所述的一种探针卡,其特征在于,所述探针卡本体上设置有至少两个探针轨道,所述探针与所述探针轨道一一对应设置,所述探针可移动的连接于所述探针轨道上。
4.根据权利要求3所述的一种探针卡,其特征在于,所述探针轨道包括至少两个圆环形子轨道,两个所述圆环形子轨道设置为同圆心不同半径,以及连接两个所述圆环形子轨道的直线型轨道,所述直线型轨道用于所述探针在两个所述圆环形子轨道之间进行变轨。
5.根据权利要求3所述的一种探针卡,其特征在于,每个所述探针轨道上均设置有滑块,所述滑块与所述探针轨道滑动连接,所述探针固定在所述滑块上。
6.根据权利要求5所述的一种探针卡,其特征在于,所述探针轨道为凹字形导轨,所述滑块设置有与所述凹字形导轨形状相匹配的滑动部。
7.根据权利要求1或2所述的一种探针卡,其特征在于,所述探针卡本体上设置有至少两个固定通孔,且所述固定通孔的数量大于所述探针的数量,所述探针可拆卸固定在不同的所述固定通孔内。
8.根据权利要求3所述的一种探针卡,其特征在于,所述探针卡本体包括印刷电路板,所述探针轨道设置在所述印刷电路板上,所述探针通过所述探针轨道与所述印刷电路板电连接,所述印刷电路板为所述探针提供测试信号。
9.一种检测装置,其特征在于,包括如权利要求1-8任意一项所述的探针卡,以及驱动电机、驱动机构和载物机构,所述驱动机构设置在所述探针轨道上,所述驱动机构与所述驱动电机连接,以驱动所述探针沿所述探针轨道移动;
所述载物机构上放置有待检测产品,所述待检测产品内有多个待检测部;
所述载物机构可移动。
10.一种晶圆的检测装置,其特征在于,包括如权利要求9所述的检测装置,所述待检测产品为晶圆,所述待检测部为所述晶圆内的测试焊盘。
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