[实用新型]探针卡、检测装置及晶圆的检测装置

说明书

本申请公开了一种探针卡、检测装置及晶圆的检测装置，所述探针卡用于检测待检测产品的待检测部，所述探针卡包括探针卡本体，所述探针卡本体上设置有至少一个探针组；所述探针组包括至少两个探针，一个所述探针组内所有的所述探针用于检测一所述待检测部，一个所述探针组内不同的所述探针之间的间距可调。本申请，通过以上方式提高探针卡的适用性。

技术领域

本申请涉及检测技术领域，尤其涉及一种探针卡、检测装置及晶圆的检测装置。

背景技术

现在产品出厂时，产品的良率一直是人们密切关注的问题，因而对产品性能的检测至关重要，通常待检测产品包括多个待检测部，具体的，待检测部一般包括至少两个检测点，检测点的性能可通过探针来检测，实际测试过程中，待检测产品通常有不同规格，同规格待检测产品内的待检测部尺寸也可能不相同，而不同尺寸的待检测部内，检测点的位置均不相同；相应的，同一规格的待检测产品，待检测部内检测点的位置也可能不相同，而现有的探针卡只能对应检测一种规格，且待检测部尺寸相同的待检测产品，当待检测产品的规格改变时，需要更换规格适用的探针卡。因而，如何提高探针卡的适用性是本领域技术人员亟待解决的技术问题。

实用新型内容

本申请的目的是提供一种探针卡、检测装置及晶圆的检测装置，探针卡上设置探针组来测试待检测部，同时同一个探针组内不同的探针之间间距可调，提高探针卡的适用性。

本申请公开了一种探针卡，所述探针卡用于检测待检测产品的待检测部，包括探针卡本体，所述探针卡本体上设置有至少一个探针组；所述探针组包括至少两个探针，一个所述探针组内所有的所述探针用于检测一所述待检测部，一个所述探针组内不同的所述探针之间的间距可调。

可选的，所述探针卡本体上设置有至少两个所述探针组，不同的所述探针组之间的距离可调。

可选的，所述探针卡本体上设置有至少两个探针轨道，所述探针与所述探针轨道一一对应设置，所述探针可移动的连接于所述探针轨道上。

可选的，所述探针轨道包括至少两个圆环形子轨道，两个所述圆环形子轨道设置为同圆心不同半径，以及连接两个所述圆环形子轨道的直线型轨道，所述直线型轨道用于所述探针在两个所述圆环形子轨道之间进行变轨。

可选的，每个所述探针轨道上均设置有滑块，所述滑块与所述探针轨道滑动连接，所述探针固定在所述滑块上。

可选的，所述探针轨道为凹字形导轨，所述滑块设置有与所述凹字形导轨形状相匹配的滑动部。

可选的，所述探针卡本体上设置有至少两个固定通孔，且所述固定通孔的数量大于所述探针的数量，所述探针可拆卸固定在不同的所述固定通孔内。

可选的，所述探针卡本体包括印刷电路板，所述探针轨道设置在所述印刷电路板上，所述探针通过所述探针轨道与所述印刷电路板电连接，所述印刷电路板为所述探针提供测试信号。

本申请公开了一种检测装置，包括以上任意一项所述的探针卡，以及驱动电机、驱动机构和载物机构，所述驱动机构设置在所述探针轨道上，所述驱动机构与所述驱动电机连接，以驱动所述探针沿所述探针轨道移动；所述载物机构上放置有待检测产品，所述待检测产品内有多个待检测部；所述载物机构可移动。

本申请还公开了一种晶圆的检测装置，包括本申请公开的所述检测装置，所述待检测产品为晶圆，所述待检测部为所述晶圆内的测试焊盘。