[实用新型]一种晶棒样片的自动研磨装置

权利要求书

1.一种晶棒样片的自动研磨装置，其特征在于：包括配套使用的粗磨装置和精磨装置；

粗磨装置包括磨盘、第一连杆装置、升降机构和第一模具；磨盘位于第一连杆装置的正下方；第一连杆装置与升降机构连接，在升降机构的驱动下、第一连杆装置可上下移动，第一连杆装置四周均布有三个以上的第一安装孔；第一模具包括第一压盘、第一连接杆和第一配重，第一压盘下表面设有第一样片槽，第一连接杆底部连接在第一压盘上表面；第一模具置于磨盘上，且第一压盘在下、第一连接杆在上，第一连杆顶部自第一安装孔底部伸入第一安装孔、并超出第一安装孔，第一配重活动连接在第一连杆顶部，第一连杆装置上下移动时，带动第一模具在磨盘上往复移动；

精磨装置包括第二连杆装置、石英玻璃板、摆动驱动装置和第二模具；第二连杆装置包括基板、摆动杆和转轴，摆动杆通过转轴可旋转可安装在基板上，摆动杆的一端为工作端、另一端为驱动端，转轴位于工作端和摆动端之间，摆动杆的工作端设有两个以上的第二安装孔；石英玻璃板位于摆动杆工作端的正下方；摆动杆的驱动端与摆动驱动装置连接，在摆动驱动装置的驱动下、摆动杆作往复运动；第二模具包括第二压盘、第二连接杆和第二配重，第二压盘下表面设有第二样片槽，第二连接杆底部连接在第二压盘上表面；第二模具置于石英玻璃板上，且第二压盘在下、第二连接杆在上，第二连杆顶部自第二安装孔底部伸入第二安装孔、并超出第二安装孔，第二配重活动连接在第二连杆顶部。

2.如权利要求1所述的晶棒样片的自动研磨装置，其特征在于：第一连杆装置包括驱动柱和连杆组件；连杆组件有结构相同的三组以上，所有的连杆组件均布在驱动柱周边，驱动柱与升降机构连接；连杆组件包括第一连杆、第二连杆、第三连杆和滑块，第一连杆一端与驱动柱转动连接、另一端与滑块转动连接，第二连杆一端设有第一安装孔、另一端为连接端，滑块与第二连杆滑动配合，第三连杆一端与驱动柱转动连接、另一端与第二连杆的连接端转动连接，第三连杆位于第一连杆下方。

3.如权利要求2所述的晶棒样片的自动研磨装置，其特征在于：驱动柱底部设有滴水装置。

4.如权利要求2或3所述的晶棒样片的自动研磨装置，其特征在于：连杆组件有结构相同的四组。

5.如权利要求1-3任意一项所述的晶棒样片的自动研磨装置，其特征在于：摆动杆的工作端设有垂直连接的横杆，第二安装孔设在横杆上，横杆上还设有研磨液喷口，研磨液喷口的喷洒方向指向石英玻璃板。

6.如权利要求5所述的晶棒样片的自动研磨装置，其特征在于：第二安装孔的数量为两个，两个第二安装孔分别设在横杆的两端端部。

7.如权利要求1-3任意一项所述的晶棒样片的自动研磨装置，其特征在于：第一连接杆底部垂直连接在第一压盘上表面的中央位置；第二连接杆底部垂直连接在第二压盘上表面的中央位置。

8.如权利要求1-3任意一项所述的晶棒样片的自动研磨装置，其特征在于：第一模具的数量与第一安装孔的数量相等、且一一对应；第二模具的数量与第二安装孔的数量相等、且一一对应。