[实用新型]一种晶棒样片的自动研磨装置

说明书

本实用新型公开了一种晶棒样片的自动研磨装置，包括配套使用的粗磨装置和精磨装置；粗磨装置包括磨盘、第一连杆装置、升降机构和第一模具；升降机构驱动第一连杆装置上下移动、同时带动第一模具在磨盘上往复移动；第一模具底部设有第一样片槽；精磨装置包括第二连杆装置、石英玻璃板、摆动驱动装置和第二模具；摆动驱动装置驱动第二连杆装置摆动、进而带动第二模具在石英玻璃板上摆动，第二模具底部设有第二样片槽。本实用新型晶棒样片的自动研磨装置，实现了粗磨和精磨的机械化，显著提高了研磨的一致性结和研磨效率，节约了成本，降低了劳动强度，提高了研磨质量。

技术领域

本实用新型涉及一种晶棒样片的自动研磨装置，属于晶棒样片的研磨技术领域。

背景技术

随着我国航天事业的飞速发展，锗衬底作为多节空间电池的最基础组件，使用量逐年上涨，而随着对转化效率要求的逐渐提高，对锗晶体的内在质量要求大大提高，这就对锗晶棒样片检测的准确性和效率同时提出了要求。我司采用CZ法生长的零位错锗单晶(通用标准为EPD＜300个每平方厘米，实际远低于该数值)缺陷本来就较少，如对样片的表面处理达不到要求，会对腐蚀过程有重大影响，使检测结果出现较大误差，目前的样片研磨工艺尤其是精磨步骤一直是手工研磨，随着产量的增加，手工研磨着力问题导致的一致性差及效率低下的问题彻底暴露出来。

实用新型内容

为了解决零位错锗单晶样片手工研磨表面粗糙度不均匀和研磨效率低下的问题，本实用新型提供一种晶棒样片的自动研磨装置。

为解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案如下：

一种晶棒样片的自动研磨装置，包括配套使用的粗磨装置和精磨装置；

粗磨装置包括磨盘、第一连杆装置、升降机构和第一模具；磨盘位于第一连杆装置的正下方；第一连杆装置与升降机构连接，在升降机构的驱动下、第一连杆装置可上下移动，第一连杆装置四周均布有三个以上的第一安装孔；第一模具包括第一压盘、第一连接杆和第一配重，第一压盘下表面设有第一样片槽，第一连接杆底部连接在第一压盘上表面；第一模具置于磨盘上，且第一压盘在下、第一连接杆在上，第一连杆顶部自第一安装孔底部伸入第一安装孔、并超出第一安装孔，第一配重活动连接在第一连杆顶部，第一连杆装置上下移动时，带动第一模具在磨盘上往复移动；

精磨装置包括第二连杆装置、石英玻璃板、摆动驱动装置和第二模具；第二连杆装置包括基板、摆动杆和转轴，摆动杆通过转轴可旋转可安装在基板上，摆动杆的一端为工作端、另一端为驱动端，转轴位于工作端和摆动端之间，摆动杆的工作端设有两个以上的第二安装孔；石英玻璃板位于摆动杆工作端的正下方；摆动杆的驱动端与摆动驱动装置连接，在摆动驱动装置的驱动下、摆动杆作往复运动；第二模具包括第二压盘、第二连接杆和第二配重，第二压盘下表面设有第二样片槽，第二连接杆底部连接在第二压盘上表面；第二模具置于石英玻璃板上，且第二压盘在下、第二连接杆在上，第二连杆顶部自第二安装孔底部伸入第二安装孔、并超出第二安装孔，第二配重活动连接在第二连杆顶部。

上述粗磨装置和精磨装置配套使用，样品粗磨后、再精磨，即可达到检测标准。

上述粗磨装置和精磨装置，实现了样片的自动研磨，且一次可研磨多片，显著提高了研磨效率和研磨一致性。

使用上述装置研磨的具体步骤包括如下：

1)将样片压在第一模具的第一样片槽内，将第一连杆顶部自第一安装孔底部伸入第一安装孔、并超出第一安装孔，第一配重活动连接在第一连杆顶部；

2)在磨盘上喷洒粗磨介质，同时启动磨盘和升降机构，升降机构带动第一连杆装置上下移动，进而带动第一模具在磨盘上往复移动，在磨盘的转动、第一模具的往复运动和粗磨介质的共同作用下，完成粗磨，然后关闭磨盘和升降机构，取出、并清洗，得粗磨样片；

3)将粗磨样片压在第二模具的第二样片槽内，将第二连杆顶部自第二安装孔底部伸入第二安装孔、并超出第二安装孔，第二配重活动连接在第二连杆顶部；