[实用新型]自动开盒盖式Load Port晶圆装载机

权利要求书

1.一种自动开盒盖式Load Port晶圆装载机，其包括：

机架，其具有装载窗口；

平台活动单元，其包括位于所述装载窗口下方的定位平台、设置在所述定位平台上且用于承载晶圆传送盒的承载平台、及用于驱动所述承载平台向所述装载窗口靠近或远离运动的第一驱动件；

门活动单元，其包括设置在所述装载窗口的活动门、设置在所述活动门上且用于打开晶圆传送盒的盒盖的开锁件、以及驱动所述活动门敞开或闭合所述装载窗口的第二驱动件，

其特征在于：

所述的晶圆装载机还包括设置在所述活动门与所述盒盖之间的第一接触开关，其中所述第一接触开关闭合时，所述开锁件伸入所述盒盖并自动解锁所述盒盖；

所述第二驱动件包括用于驱动所述的活动门沿着自身厚度方向运动以脱离所述装载窗口的横移部件、用于驱动脱离所述装载窗口的活动门上下以敞开所述装载窗口的纵移部件，其中所述盒盖、所述开锁件、及与所述活动门同步运动。

2. 根据权利要求1所述的自动开盒盖式Load Port晶圆装载机，其特征在于：所述的第二驱动件还包括竖直设置在所述装载窗口下方的所述机架上的导轨、滑动设置在所述导轨上的升降板，所述横移部件设置在所述升降板上，所述纵移部件驱动所述升降板沿所述导轨上下运动设置，所述活动门随之同步运动。

3. 根据权利要求2所述的自动开盒盖式Load Port晶圆装载机，其特征在于：所述的横移部件包括横移气缸、铝方通，其中所述横移气缸固定设置在所述升降板上，所述铝方通自所述横移气缸的推杆端部竖直向上延伸并连接在所述活动门上。

4. 根据权利要求2所述的自动开盒盖式Load Port晶圆装载机，其特征在于：所述的晶圆装载机还包括位于所述导轨一侧的光栅尺，且所述光栅尺与所述导轨相平行设置。

5. 根据权利要求1所述的自动开盒盖式Load Port晶圆装载机，其特征在于：所述的第一接触开关包括设置在所述活动门上的感应件、与所述开锁件相连通的触发件，其中当所述感应件感应到所述盒盖时，所述触发件发出信号，驱使所述开锁件解锁所述盒盖。

6. 根据权利要求5所述的自动开盒盖式Load Port晶圆装载机，其特征在于：所述感应件呈柱状并沿所述活动门厚度方向穿过所述活动门，所述触发件为设置在所述感应件远离所述承载平台一端的传感器。

7. 根据权利要求1所述的自动开盒盖式Load Port晶圆装载机，其特征在于：所述的开锁件包括设置在所述活动门上的开门轴、驱动所述开门轴转动的开锁气缸，其中所述开门轴包括沿水平方向穿过所述活动门的轴本体、垂直连接在所述轴本体上靠近所述承载平台一端的锁头，所述开锁气缸连接在所述轴本体上远离所述锁头一端。

8. 根据权利要求7所述的自动开盒盖式Load Port晶圆装载机，其特征在于：所述开门轴有两个且并排设置在所述活动门上。

9. 根据权利要求1所述的自动开盒盖式Load Port晶圆装载机，其特征在于：所述晶圆装载机还包括设置在所述承载平台与所述晶圆传送盒盒底之间的第二接触开关，其中所述第二接触开关与所述第一驱动件相连通设置，且当所述第二接触开关闭合时，所述第一驱动件驱动所述承载平台向所述装载窗口靠近。

10. 根据权利要求1所述的自动开盒盖式Load Port晶圆装载机，其特征在于：所述的第一驱动件为连接在所述承载平台底面的导杆气缸。