[实用新型]一种硅片隐裂检测装置有效
| 申请号： | 202122045958.0 | 申请日： | 2021-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN215640935U | 公开（公告）日： | 2022-01-25 |
| 发明（设计）人： | 欧文凯;向亮睿 | 申请（专利权）人： | 普乐新能源科技（徐州）有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/01;H01L21/66 |
| 代理公司： | 苏州创策知识产权代理有限公司 32322 | 代理人： | 范圆圆 |
| 地址： | 221000 江苏省徐州市高新技*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 检测 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种硅片隐裂检测装置，其特征在于：包括底座以及设于底座正上方的视觉检测相机；所述底座的顶部设有检测口，所述检测口的内壁上设有供硅片横向插入的插槽，所述插槽的下方安装有照明灯；所述底座的侧壁上设有与所述插槽相连通的插口；所述底座的两侧设有用于向硅片表面喷洒高压蒸汽的喷气机构。
2.根据权利要求1所述的一种硅片隐裂检测装置，其特征在于：所述喷气机构包括安装板、驱动气缸以及喷气板；所述安装板固定在所述底座的侧壁上，所述驱动气缸安装在所述安装板的上端；所述喷气板与所述驱动气缸的活塞杆固定连接，且能在所述驱动气缸的驱动下朝所述检测口的上方移动，喷气板的底部设有多个高压喷头。
3.根据权利要求2所述的一种硅片隐裂检测装置，其特征在于：所述照明灯的下方设有凹面反射板。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于普乐新能源科技（徐州）有限公司，未经普乐新能源科技（徐州）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202122045958.0/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种桶装油漏油检查装置
- 下一篇：一种硅片碎片检测装置
