[实用新型]一种硅片隐裂检测装置有效
申请号: | 202122045958.0 | 申请日: | 2021-08-27 |
公开(公告)号: | CN215640935U | 公开(公告)日: | 2022-01-25 |
发明(设计)人: | 欧文凯;向亮睿 | 申请(专利权)人: | 普乐新能源科技(徐州)有限公司 |
主分类号: | G01N21/95 | 分类号: | G01N21/95;G01N21/01;H01L21/66 |
代理公司: | 苏州创策知识产权代理有限公司 32322 | 代理人: | 范圆圆 |
地址: | 221000 江苏省徐州市高新技*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 硅片 检测 装置 | ||
本实用新型提供了一种硅片隐裂检测装置,包括底座和视觉检测相机;底座的顶部设有检测口,检测口的内壁上设有供硅片横向插入的插槽,插槽的下方安装有照明灯,底座的两侧设有喷气机构;将硅片插装在检测口之后,可利用喷气机构向硅片表面喷洒高压蒸汽,一方面能清除硅片表面的杂质,避免杂质造成的误判,另一方面硅片的隐裂处在遇到蒸汽时会出现白线,方便视觉检测相机拍照检测;硅片下方的照明灯能使隐裂处的白线显现的更清晰,提高了检测的可靠性。
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池领域,具体涉及一种硅片隐裂检测装置。
背景技术
硅片隐裂是指在硅片的表面存在未穿透且不可见的裂纹,在生产及使用过程中该裂纹会逐渐延伸或穿透,导致硅片碎裂。现有技术中,大多利用分选设备对硅片进行红外光透射来捕捉硅片的隐裂缺陷,但多数分选设备使用时容易发生误判,给用户带来很大的损失。
实用新型内容
针对上述技术问题,本实用新型提供了一种硅片隐裂检测装置。
一种硅片隐裂检测装置,包括底座以及设于底座正上方的视觉检测相机;所述底座的顶部设有检测口,所述检测口的内壁上设有供硅片横向插入的插槽,所述插槽的下方安装有照明灯;所述底座的侧壁上设有与所述插槽相连通的插口;所述底座的两侧设有用于向硅片表面喷洒高压蒸汽的喷气机构。
进一步的,所述喷气机构包括安装板、驱动气缸以及喷气板;所述安装板固定在所述底座的侧壁上,所述驱动气缸安装在所述安装板的上端;所述喷气板与所述驱动气缸的活塞杆固定连接,且能在所述驱动气缸的驱动下朝所述检测口的上方移动,喷气板的底部设有多个高压喷头。
进一步的,所述照明灯的下方设有凹面反射板。
本实用新型的有益效果是:将硅片插接安装在检测口之后,利用喷气机构向硅片表面喷洒高压蒸汽,一方面能清除硅片表面的杂质,避免表面杂质造成的误判,另一方面硅片的隐裂处在遇到蒸汽时会出现白线,方便上方的视觉检测相机进行拍照检测;同时,硅片下方的照明灯能使隐裂处的白线更清晰的显现出来,进一步提高了检测的可靠性。
附图说明
下面结合附图对本实用新型作进一步的说明。
图1为本实用新型实施例的整体结构示意图;
图2为本实用新型实施例的局部剖视图;
图中数字表示:
1、底座2、视觉检测相机3、检测口4、硅片5、插槽6、插口7、安装板8、驱动气缸9、喷气板10、照明灯11、凹面反射板。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例,基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例,都属于本实用新型保护的范围。
本实用新型的描述中,需要理解的是,术语“上”、“下”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了方便描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位,以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。
一种硅片隐裂检测装置,如图1、图2所示,包括底座1以及设于底座1正上方的视觉检测相机2。底座1的顶部设有检测口3,检测口3的内壁上设有供硅片4横向插入的插槽5。底座1的侧壁上设有与插槽5相连通的插口6,硅片4可从插口6处横向插入插槽5,从而将硅片4固定在检测口3进行隐裂检测。
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