[实用新型]控制电路及半导体工艺设备

权利要求书

1.一种控制电路，应用于半导体工艺设备，其特征在于，包括：主回路、检测回路和开关回路；

所述主回路上设有开关件；

所述开关回路和所述检测回路均与所述主回路连接，且接入点均位于所述开关件的上游，所述开关回路用于通过控制所述开关件闭合或打开以控制所述主回路通断；

所述检测回路包括第一支路和第二支路，所述第一支路用于控制所述开关回路的通断；所述第二支路用于与信号采集端连接；

在所述检测回路被触发时，所述第一支路通过所述开关回路控制所述主回路断开，所述第二支路向所述信号采集端发送报警信号。

2.根据权利要求1所述的控制电路，其特征在于，所述检测回路还包括火焰侦测器和供电支路，所述第一支路和所述第二支路通过所述供电支路与所述主回路连接；

所述供电支路连接所述火焰侦测器，在所述火焰侦测器侦测到火焰的情况下触发所述检测回路。

3.根据权利要求1或2所述的控制电路，其特征在于，所述控制电路包括中间继电器(KA00)和接触器(KM01)，所述中间继电器(KA00)的常闭触点(b1)与所述开关回路连接，所述中间继电器(KA00)的线圈串联于所述第一支路；

所述接触器(KM01)的主触点(a1，a2)形成所述开关件，所述接触器(KM01)的线圈串联于所述开关回路。

4.根据权利要求3所述的控制电路，其特征在于，所述第一支路中设有第一常开触点(c1)，用以控制所述中间继电器(KA00)电源的通断；所述第二支路中设有第二常开触点(c2)，在所述检测回路被触发的情况下，所述第一常开触点(c1)和所述第二常开触点(c2)均切换至闭合状态，以使所述主回路断电，并向所述信号采集端发送报警信号。

5.根据权利要求3所述的控制电路，其特征在于，所述开关回路中设有常开按钮开关(SB01)，所述常开按钮开关(SB01)在外力移除后自动弹起；

所述接触器(KM01)具有连接于所述开关回路的辅助触点(a3)，所述辅助触点(a3)与所述常开按钮开关(SB01)并联。

6.根据权利要求5所述的控制电路，其特征在于，所述开关回路中设有常闭按钮开关(SB02)，所述常闭按钮开关(SB02)与所述常闭触点(b1)串联设置。

7.根据权利要求2所述的控制电路，其特征在于，所述控制电路包括AC/DC转换单元，所述检测回路通过所述AC/DC转换单元与所述主回路连接，用于向所述火焰侦测器提供预设电压值。

8.根据权利要求7所述的控制电路，其特征在于，所述开关回路和所述检测回路并联后，通过所述AC/DC转换单元与所述主回路连接。

9.根据权利要求3所述的控制电路，其特征在于，所述主回路设有断路器(QF00)，所述检测回路和所述开关回路均连接于所述断路器(QF00)的后端。

10.一种半导体工艺设备，其特征在于，具备权利要求1-9中任意一项所述的控制电路。