[实用新型]控制电路及半导体工艺设备

说明书

本申请公开了一种控制电路及半导体工艺设备，涉及半导体设备领域。一种控制电路包括主回路、检测回路和开关回路；主回路上设有开关件；开关回路和检测回路均与主回路连接，且接入点均位于开关件的上游，开关回路用于通过控制开关件闭合或打开以控制主回路通断；检测回路包括第一支路和第二支路，第一支路用于控制开关回路的通断；第二支路用于与信号采集端连接；在检测回路被触发时，第一支路通过开关回路控制主回路断开，第二支路向信号采集端发送报警信号。一种半导体工艺设备，具备上述控制电路。本申请解决了主回路无法断电或者主回路断电后报警信号无法被采集的问题。

技术领域

本申请属于半导体设备技术领域，具体涉及一种控制电路及半导体工艺设备。

背景技术

化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition，CVD)技术是一种可以将物质以原子膜形式镀在基底表面的方法。CVD工艺过程中需要有多种工艺气体进入腔室，然而，参与反应的工艺气体中硅烷和氢气属于易燃气体，为了保证安全，需要预防一些易燃气体泄漏，基于此，一些半导体工艺设备安装有火焰侦测器进行火焰探测及报警。

当前，一些火焰侦测器在实际应用过程中，当检测到火焰时，发出报警信号，且互锁生效将工艺气体阀门关闭，然而，控制主回路导线及电器件仍带电，容易造成短路而产生严重后果。另一些火焰侦测器在应用过程中，在检测到火焰时，可以使主回路断电，且关闭工艺气体阀门，然而，由于主回路断电，使得火焰侦测器的供电也被切断，从而影响报警信号的采集或确认，进而容易造成误报的情况。

实用新型内容

本申请实施例的目的是提供一种控制电路及半导体工艺设备，能够解决主回路无法断电，或者主回路断电后导致火焰侦测器的报警信号无法被采集或确认的问题。

为了解决上述技术问题，本申请是这样实现的：

本申请实施例提供了一种控制电路，该控制电路包括：主回路、检测回路和开关回路；

所述主回路上设有开关件；

所述开关回路和所述检测回路均与所述主回路连接，且接入点均位于所述开关件的上游，所述开关回路用于通过控制所述开关件闭合或打开以控制所述主回路通断；

所述检测回路包括第一支路和第二支路，所述第一支路用于控制所述开关回路的通断；所述第二支路用于与信号采集端连接；

在所述检测回路被触发时，所述第一支路通过所述开关回路控制所述主回路断开，所述第二支路向所述信号采集端发送报警信号。

本申请实施例还提供了一种半导体工艺设备，该半导体工艺设备具备上述控制电路。

在本申请实施例中，开关回路和检测回路均与主回路连接，且接入点均位于开关件的上游，使得开关回路可以通过控制开关件的闭合或打开，以控制主回路通断。如此，本申请实施例可以在切断主回路后端供电的情况下，保证检测回路正常工作，从而可以实现第二支路与信号采集端之间的连接，以实现信号传输，进而可以避免误判的情况发生。

附图说明

图1为相关技术中的第一种形式的火焰侦测器控制回路的示意图；

图2为相关技术中的第二种形式的火焰侦测器控制回路的示意图；

图3为本申请实施例公开的火焰侦测器控制回路的示意图。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。