[实用新型]双面抛光垫更换装置有效
申请号: | 202122053509.0 | 申请日: | 2021-08-27 |
公开(公告)号: | CN215881196U | 公开(公告)日: | 2022-02-22 |
发明(设计)人: | 唐林锋;肖进龙;况正东;马金峰;周铁军 | 申请(专利权)人: | 广东先导微电子科技有限公司 |
主分类号: | B24B29/02 | 分类号: | B24B29/02;B24B41/04 |
代理公司: | 北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙) 11387 | 代理人: | 张向琨 |
地址: | 511517 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 双面 抛光 更换 装置 | ||
1.一种双面抛光垫更换装置(100),其特征在于,
包括底架(1)、升降杆(2)、支架(3)、至少四个悬臂(4)以及多个盘体(5);
升降杆(2)穿入底架(1),能够在上下方向(D1)上升降;
支架(3)包括底板(31)和至少四个轴(32),底板(31)固定于升降杆(2)的顶端,所述至少四个轴(32)围绕底板(31)的中心沿周向间隔布置;
各悬臂(4)枢转套设于对应一个轴(32),以能够围绕对应一个轴(32)枢转,各悬臂(4)设置有直线延伸的凹槽(41);
各盘体(5)设置在对应一个悬臂(4)的末端的上表面(42),各盘体(5)用于在双面抛光垫(200)粘贴在双面抛光机的上定位盘(300)的过程中支撑双面抛光垫(200)的一部分,各盘体(5)的厚度设定为允许手伸入在支撑的双面抛光垫(200)和对应一个悬臂(4)的上表面(42)之间;
各凹槽(41)内设置有多个弹性件(6),弹性件(6)的数量等于在同一径向上双面抛光垫(200)的开孔(200a)和上定位盘(300)的供药孔(300a)的最大数量,各弹性件(6)包括帽体(61)和弹簧(62),帽体(61)具有仅下端开口的凹部(611),弹簧(62)的上端抵靠凹部(611)的底壁(611a)而弹簧(62)的下端抵靠凹槽(41)的底面(411),各弹性件(6)的弹簧(62)能够在凹槽(41)内沿凹槽(41)平移和旋转;
在未放置双面抛光垫(200)时,各弹性件(6)的帽体(61)的顶面(612)超出所述多个盘体(5)的上表面(51);在放置上双面抛光垫(200)时,各弹性件(6)的弹簧(62)被压缩,且各弹性件(6)的帽体(61)与悬臂(4)的上表面(42)间隔开或进入凹槽(41)内;
各弹性件(6)的弹簧(62)的弹性伸长设置成:在贴双面抛光垫(200)时能够使得帽体(61)伸入双面抛光垫(200)的开孔(200a)、背胶保护纸(400)的穿孔(400a)和上定位盘(300)的供药孔(300a)以使双面抛光垫(200)和上定位盘(300)相对彼此定位。
2.根据权利要求1所述的双面抛光垫更换装置(100),其特征在于,
底架(1)包括底座(11)和支撑柱(12),支撑柱(12)从底座(11)向上延伸,升降杆(2)穿入支撑柱(12),
双面抛光垫更换装置(100)还包括电机(7),电机(7)设置于支撑柱(12)并连接于升降杆(2)。
3.根据权利要求2所述的双面抛光垫更换装置(100),其特征在于,升降杆(2)为丝杠。
4.根据权利要求1所述的双面抛光垫更换装置(100),其特征在于,
支架(3)还包括顶板(33),
顶板(33)与底板(31)相对,各轴(32)的两端分别固定于顶板(33)和底板(31),顶板(33)的上表面(331)与所述多个盘体(5)的上表面(51)齐平。
5.根据权利要求1所述的双面抛光垫更换装置(100),其特征在于,悬臂(4)为四个。
6.根据权利要求1所述的双面抛光垫更换装置(100),其特征在于,
两个相邻悬臂(4)并靠在一起时的周向上的间隔小于双面抛光垫(200)的相邻的开孔(200a)在周向上的间隔和上定位盘(300)的相邻的供药孔(300a)在周向上的间隔。
7.根据权利要求1所述的双面抛光垫更换装置(100),其特征在于,各悬臂(4)在端部直接套在对应一个轴(32)上。
8.根据权利要求1所述的双面抛光垫更换装置(100),其特征在于,各悬臂(4)在端部通过轴承套设在对应一个轴(32)上。
9.根据权利要求1所述的双面抛光垫更换装置(100),其特征在于,
各悬臂(4)在端部通过圆环(8)套设在对应一个轴(32)上。
10.根据权利要求1所述的双面抛光垫更换装置(100),其特征在于,
各弹性件(6)还包括底盘(63),底盘(63)固定连接在弹簧(62)的下端;
各悬臂(4)还设有槽道(43),槽道(43)相邻凹槽(41)的底面(411)、位于凹槽(41)的横向两侧并沿凹槽(41)延伸,槽道(43)与凹槽(41)一起收容对应的弹性件(6)的底盘(63),以使对应的弹性件(6)的底盘(63)在上下方向(D1)被限位且允许对应的弹性件(6)的底盘(63)在槽道(43)与凹槽(41)中旋转和平移。
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