[实用新型]双面抛光垫更换装置

说明书

本公开提供一种双面抛光垫更换装置，其包括底架、升降杆、支架、至少四个悬臂及多个盘体；升降杆穿入底架；支架包括底板和至少四个轴，底板固定于升降杆，轴围绕底板的中心；各悬臂枢转套设于轴，各悬臂设有凹槽；各盘体设置在悬臂的上表面，各盘体用于支撑双面抛光垫，各盘体的厚度允许手伸入双面抛光垫和悬臂之间；各凹槽内设置有弹性件，弹性件包括帽体和弹簧，帽体具有凹部，弹簧的上端抵靠凹部而弹簧的下端抵靠凹槽，弹簧能够在凹槽内平移和旋转；未放置双面抛光垫时，帽体超出盘体的上表面；放置上双面抛光垫时，弹簧被压缩；弹簧的弹性伸长设置成：在贴双面抛光垫时能够使帽体伸入双面抛光垫的开孔、背胶保护纸的穿孔和上定位盘的供药孔。

技术领域

本公开涉及半导体领域，更具体地涉及一种双面抛光垫更换装置。

背景技术

作为第二代半导体材料的砷化镓、磷化铟等，凭借其优越的电子特性已经在移动电话、红外光学及卫星通讯等领域展现出了越来越广阔的应用前景。但是，在由砷化镓晶体生长到砷化镓晶片成品进入的实际应用的生产过程中，还要经过一系列复杂的加工工艺，其中，在大尺寸(6寸以上)及高平整度的双面抛光工艺过程中，必须使用到一种以聚氨脂或无纺布为主要材料的抛光垫(PAD)。在双面抛光工艺中，贴附在双面抛光机的上定盘的抛光垫必须要定期更换，更换时，每次都需要三个人同时作业，其中两人站立在双面抛光机两侧，双手各拿一支和上定盘供药孔孔径大小类似的笔杆，顶着抛光垫的开孔和上定盘的供药孔保持位置一致，即对孔(此操作需头部伸入上定盘内配合检查其它孔是否有对齐，手臂折曲往上定盘使力，所以特别费力)，另一人在开始贴抛光垫前，需反复检查抛光垫的开孔和双面抛光机的供药孔是否已经全部对齐，确认完后，则撕开抛光垫边上的一处背胶保护胶纸，用压垫锤逐次赶压将抛光垫均匀平整地粘贴到双面抛光机的上定盘上，而前面负责对孔的人则负责撕去抛光垫的背胶保护胶纸，直至粘贴完成。

目前，在双面抛光过程中，上定盘的换垫都是使用此种方法，该贴垫方法人工效率低，对孔时易发生偏移，有时抛光垫已经粘贴了一部分却发现孔未对齐，又需重新撕垫，重新粘贴，如垫子出现褶皱，则只能报废，需重新拿新抛光垫开孔，重新贴。既浪费物料成本，也浪费了人工效率。

实用新型内容

鉴于背景技术中存在的问题，本公开的目的在于提供一种双面抛光垫更换装置，其能提高双面抛光垫粘贴效率并节省人工。

由此，在一些实施例中，一种双面抛光垫更换装置包括底架、升降杆、支架、至少四个悬臂以及多个盘体；升降杆穿入底架，能够在上下方向上升降；支架包括底板和至少四个轴，底板固定于升降杆的顶端，所述至少四个轴围绕底板的中心沿周向间隔布置；各悬臂枢转套设于对应一个轴，以能够围绕对应一个轴枢转，各悬臂设置有直线延伸的凹槽；各盘体设置在对应一个悬臂的末端的上表面，各盘体用于在双面抛光垫粘贴在双面抛光机的上定位盘的过程中支撑双面抛光垫的一部分，各盘体的厚度设定为允许手伸入在支撑的双面抛光垫和对应一个悬臂的上表面之间；各凹槽内设置有多个弹性件，弹性件的数量等于在同一径向上双面抛光垫的开孔和上定位盘的供药孔的最大数量，各弹性件包括帽体和弹簧，帽体具有仅下端开口的凹部，弹簧的上端抵靠凹部的底壁而弹簧的下端抵靠凹槽的底面，各弹性件的弹簧能够在凹槽内沿凹槽平移和旋转；在未放置双面抛光垫时，各弹性件的帽体的顶面超出所述多个盘体的上表面；在放置上双面抛光垫时，各弹性件的弹簧被压缩，且各弹性件的帽体与悬臂的上表面间隔开或进入凹槽内；各弹性件的弹簧的弹性伸长设置成：在贴双面抛光垫时能够使得帽体伸入双面抛光垫的开孔、背胶保护纸的穿孔和上定位盘的供药孔以使双面抛光垫和上定位盘相对彼此定位。

在一些实施例中，底架包括底座和支撑柱，支撑柱从底座向上延伸，升降杆穿入支撑柱，双面抛光垫更换装置还包括电机，电机设置于支撑柱并连接于升降杆。

在一些实施例中，升降杆为丝杠。

在一些实施例中，支架还包括顶板，顶板与底板相对，各轴的两端分别固定于顶板和底板，顶板的上表面与所述多个盘体的上表面齐平。

在一些实施例中，悬臂为四个。